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1.
单轴柔性铰链设计方法研究   总被引:32,自引:2,他引:30  
针对微机电系统中常用单轴柔性铰链机构原始理论设计的复杂性 ,提出了简洁而准确的单轴柔性铰链设计计算方法。从基础理论出发推导出了柔性铰链刚度及转角设计公式 ,分析了柔性铰链设计中结构参数与性能的关系。通过一种压电驱动微动工作台设计实例分析了单轴柔性铰链机构在微机电系统中的应用。实践证明了该方法的简便、可靠与实效性  相似文献
2.
微机电系统科学与技术发展趋势   总被引:25,自引:0,他引:25  
阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵与应用范畴,着重介绍了国外MEMS的研究情况,研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术。总结了国内的研究工作,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研制情况,并提出发展我国微电机电系统的几点建议。  相似文献
3.
仿蚯蚓蠕动微机器人及控制系统   总被引:13,自引:0,他引:13  
在研究蚯蚓运动机理的基础上,提出一种适用于微小软管移动的仿蚯蚓蠕动式微机器人,该机器人分为三个柔性单元体,每个柔性单元体主要由一对绝缘板,两板之间相连的三根形状记忆合金元件,充入空气将SMA等加以封闭的橡胶囊组成。在SMA的形状记忆效应和橡胶气囊的综合作用下,柔性单元体可实现蚯蚓了相类似的运动,从而实现微机器人蠕动式前进。  相似文献
4.
国际上微型飞行器研究的进展及其关键技术   总被引:13,自引:0,他引:13  
微型飞行器(MAV)是MEMS传感器和驱动器技术发展的必然产物,同时也是当今先进国家竞相研究的科技前沿课题。该文综述了世界各国对微型飞行器在固定翼、旋翼、扑翼以及微型动力系统方面的研究进展,指出了MAV研究的几项关键技术,并结合我国实际,提出了我国研究MAV的建议。  相似文献
5.
超微型电动机实用化的关键技术及应用前景   总被引:9,自引:2,他引:7  
电磁型超微型电动机是微机电系统中的关键部件。论述了直径1~3mm电磁型超微型电动机设计中的若干关键问题,如微型电动机的结构设计、磁路设计,以及微型电动机中的发热、温升和微摩擦问题等。简要地讨论了电磁型微型电动机的应用前景,例举了它在医学内窥镜、微泵、微激光扫描器中的应用。  相似文献
6.
基于MEMS的固体推进器阵列   总被引:7,自引:0,他引:7  
为满足微小型卫星星载推进系统小型化、微推力、高精度的需求,研制了一种基于MEMS技术的固体化学微推进器.该推进器具有低功耗、低点火能量阈值、无可动部件的特点,理论上具有较高的工作可靠性.介绍了推进器的结构设计、工艺流程,以及推进剂加注方法,并给出了已经加工完成的6×6单元阵列原理样机的推力预测和点火性能初步测试结果.样机瞬时点火功率小于1 W, 平均点火电压低于 40 V, 理论推力约1.7 mN. 与同量级推力的电推进器相比,工作电压大大降低.  相似文献
7.
MEMS系统级仿真建模理论与方法的研究   总被引:6,自引:0,他引:6  
实现集设计、加工及运行等整个过程的计算机仿真为一体的微机电系统的计算机辅助设计是微机电系统真正走向商品化的重要基础。系统级仿真是MEMS CAD最为关键的重要环节。概括了MEMS CAD的体系结构;着重介绍了适合于MEMS系统级仿真的两个基本模型的基本思想、构造方法。提出用加权残值法(MWR)建立MEMS系统级仿真模型;论述MEMS系统级仿真的MWR建模原理与方法。提出运用演化算法进行自动化、智能化建模的基本思想。  相似文献
8.
电容式微机械加速度计闭环系统的零偏   总被引:5,自引:0,他引:5  
为解释电容式微加速度计闭环系统零点不惟一的特殊现象,对其力学模型和电路特性进行理论分析,推导了闭环输出、零偏、零偏重复性、检测盲区宽度等公式,建立新的静平衡模型.通过零偏与预载的关系实验,定量分析了零偏不重合度、零偏重复性等,并对实验数据进行误差分析.该静平衡模型揭示了动齿的运动规律,证明检测盲区宽度和零偏重复性成正比,成功解释了两个零点问题.指出提高零偏重复性指标的方法,对于微机械结构的设计、预载的选择也具有指导意义.  相似文献
9.
电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计   总被引:5,自引:1,他引:4  
提出了利用电磁驱动机理优点的双稳态射频微电子机械系统(RF MEMS)开关结构形式.开关的微驱动部分由导磁的悬梁、扭梁和线圈、永磁体组成。由于采用了永磁铁单元,可以实现对开关的双稳态电磁控制,从而降低了开关的功耗。对开关的微机械结构进行力学分析的结果表明,含有加强筋结构的开关模型,在12μN力的作用下,可以使悬梁两端产生20μm的位移,此时系统的固有振动频率约为5.7kHz。  相似文献
10.
硅电容式压力传感器   总被引:5,自引:0,他引:5  
在广泛地比较了各种设计方案产业化的难易程度的基础上,最终确定了符合现有的工艺条件、易于产品化以及与其他产品生产相兼容的最佳方案,给出了MEMS的具体的工艺流程。  相似文献
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