首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
文章检索
  按 检索   检索词:      
出版年份:   被引次数:   他引次数: 提示:输入*表示无穷大
  收费全文   1篇
  免费   1篇
综合类   2篇
  2022年   1篇
  2017年   1篇
排序方式: 共有2条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
深振荡磁控溅射(Deep Oscillation Magnetron Sputtering, DOMS)通过一系列调制的电压微脉冲振荡波形,能够实现完全消除电弧放电和靶材近全离化,实现高密度、低离子能量和高束流密度的等离子体沉积.本文综述了DOMS的技术原理和深振荡脉冲放电特性对等离子体离子种类、离子能量的时空演化过程的影响,结果表明,DOMS脉冲参数对靶离化过程的影响遵循电压-时间演变规律,靶离化过程为随短脉冲电压振荡的阶段性离化.   相似文献   
2.
采用有限元分析法对超速转子试验台的模拟转子系统进行模态分析,较全面地分析了整机的振动特性,并根据仿真和试验结果分析了可能造成系统破坏的因素,为试验的动态分析提供理论依据,从而实现设计方案的优化和升级.  相似文献   
1
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号