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介绍一种单面构造的工作于推挽方式的微机械硅电容压力传感器,详细论述了线性化设计原理和传感器制作工艺,测试结果表明,该传感器可以将线性度的提高一个量级。 相似文献
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分析了教师教学档案的重要性和完善的教学档案的积极作用,探索出教学档案的信息化管理的必然趋势。 相似文献
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透射电镜内的原位拉伸测试是研究纳米尺度的单晶硅材料的力学性质的一种很有发展前景的研究方法.开展了集成单晶硅纳米梁的微电子机械系统测试芯片的设计、制作,并完成了原位拉伸的测试实验.集成的微电子机械系统芯片由基于静电梳齿结构的驱动器、测力悬梁、单晶硅纳米梁及电子束透射窗等结构构成.利用SOI硅片和普通硅片采用体硅微加工工艺及硅键合工艺加工完成了芯片制造.通过透射电镜样品杆上的电极与微电子机械系统芯片导通,实现了对静电梳齿结构的驱动,完成了与其相连的单晶硅纳米梁的拉伸观测.对此微电子机械系统芯片的测试实验结果表明,随着驱动电压的增加,单晶硅纳米梁逐渐被拉动,原位拉伸实验得到了该纳米梁的应力.应变关系,对实验结果拟合后得到杨氏模量值为161GPa,在误差范围内与体硅一致. 相似文献
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农业废弃物研究可以减少农业面源污染,促进现代生态高值农业发展,符合乡村振兴战略要义。利用CiteSpace软件分析1980—2021年1月份中国知网数据库的964篇高质量中文期刊文献,总结发文量、学科种类、高产作者和机构,挖掘不同研究阶段的热点问题,考察中国农业废弃物研究的发展演变现状,以期为深入探究提供思路。结果表明,未来应加强学者和机构之间的交流合作,合理分布学术资源,高效应用农业废弃物新型处理技术。 相似文献
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