大角度扭转微镜的静态特性分析

大角度扭转微镜是一种静电驱动的MEMS微致动器。微镜的大角度扭转会引起极板间电场分布的显著变化,使得极外电场的对微镜的影响变得不容忽略。此外,微镜受静电力作用时,悬臂梁会产生扭转和弯曲两种变形,悬臂梁的弯-扭耦合效应的影响也是必须考虑的。综合考虑了这两类影响,推导出了适用于分析大角度扭转微镜静态特性的解析公式。     

聚合物表面接枝改性方法和影响因素

阐述聚合物表面光引发接枝、辐射接枝、化学接枝等方面近年来的进展，对该项技术的发展提出了一些看法。     

薄膜型ESR结构分析与优化

对ESR进行了理论分析,并进行计算机模拟分析。在此基础上提出了两种改进的ESR面型结构。模拟结果表明,最可行和有效的提高元件性能的手段是降低电极间距。文章分析了两种新的面型结构,其中两端固支模型下拉电压降为原来的60%左右。四悬臂梁结构的下拉电压仅为10V左右。     

前极靴长度对电子回旋共振离子推进器影响的数值仿真

数值仿真研究电子回旋共振离子推力器放电室的放电过程可以为推力器的优化设计提供指导和帮助。基于COMSOL多物理场仿真软件建立了5 cm口径电子回旋共振(ECR)推力器放电室的二维轴对称模型。通过磁场实际测量值和仿真结果的对比分析,验证了模型的可靠性;并计算发现前极靴长度在7 mm和9 mm之间存在一个最佳特征值。当小于特征值时电子密度最大值、平均电子密度值和等离子体吸收功率均随极靴长度的增大而增大;而当大于特征值时电子密度最大值、平均电子密度值和等离子体吸收功率则随极靴长度的增大而减小。