大角度扭转微镜的静态特性分析

大角度扭转微镜是一种静电驱动的MEMS微致动器。微镜的大角度扭转会引起极板间电场分布的显著变化,使得极外电场的对微镜的影响变得不容忽略。此外,微镜受静电力作用时,悬臂梁会产生扭转和弯曲两种变形,悬臂梁的弯-扭耦合效应的影响也是必须考虑的。综合考虑了这两类影响,推导出了适用于分析大角度扭转微镜静态特性的解析公式。     

薄膜型ESR结构分析与优化

对ESR进行了理论分析,并进行计算机模拟分析。在此基础上提出了两种改进的ESR面型结构。模拟结果表明,最可行和有效的提高元件性能的手段是降低电极间距。文章分析了两种新的面型结构,其中两端固支模型下拉电压降为原来的60%左右。四悬臂梁结构的下拉电压仅为10V左右。