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对楔形腔光场传输模式进行对比分析,改变MEMS工艺参数,加工出楔角外侧下边缘带有"齿"的10°楔角楔形腔;设计光纤架与壳体,采用力学咬合的方式,对锥形光纤耦合位置进行固定,实现力学无胶封装,消除了封装材料性能退化对倏逝场产生的破坏,获得了稳定的倏逝场耦合模式,进而得到稳定的高品质因数(Q);封装前后楔形腔倏逝场耦合模式改变微小,Q值不随时间产生退化。使用高速转台对封装结构进行稳定性测试,5g离心转动前后,楔形腔与锥形光纤耦合位置不变。 相似文献
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设计了一种基于磁致伸缩共振的便携式液体黏度测量装置,可用于测量低黏度液体的黏度。在待测液体中,采集磁致伸缩振动片的共振频率,通过事先确定的共振频率和液体黏度计算公式,计算待测液体的黏度。该液体黏度测量装置主要由磁致伸缩振动片、磁铁、线圈、测量电路、按键和液晶屏组成。在测量电路中,单片机控制阻抗转换器测量线圈的阻抗变化,通过阻抗峰的顶点确定振动片的共振频率。通过测量磁致伸缩共振片在4种已知黏度的液体(异丙醇、甲醇、乙醇和丙酮)中的共振频率,确定共振频率和液体黏度的计算公式,该计算公式的测量范围为0.306~1.96MPa·s。对纯水进行测量,测量所得黏度为1.008MPa·s与已知纯水的黏度1MPa·s仅相差0.8%。 相似文献
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由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、小尺寸、灵敏度高等性能特点;但是由于受封装结构的影响,该水听器的灵敏度和频率响应还不太理想。为此,研究了聚氨酯透声帽封装对水听器性能的影响。首先,采用ANSYS对封装结构进行仿真,将仿真结果与自由场中液体质点的振动位移进行了对比分析。然后,通过实验对比有无封装两种情况下的水听器性能。最终得出:封装结构的固有机械特性耦合作用于水听器MEMS芯片上,导致水听器频率响应起伏较大,并在透声帽的共振频率处出现峰值;自由场中,透声帽随声波摆动的偏斜量与液体质点位移不相符导致水声衰减引起水听器灵敏度下降。 相似文献
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微/纳结构表面3-D轮廓测量中倾斜误差的补偿方法 总被引:1,自引:0,他引:1
在对微/纳机电系统进行机械力学特性研究和可靠性测试时,经常需要获取结构的表面3.D轮廓.然而.使用显微干涉法测量微/纳结构的表面3-D轮廓通常会存在一定的倾斜误差,这种误差在某些应用中是不允许的.为了弥补传统的调平补偿方法的局限性,提出了一种基于最小二乘法和坐标变换的倾斜补偿方法:在处理图像时,先用最小二乘法确定一个基准平面,然后旋转直角坐标系使得新坐标系的xoy平面与基准平面平行即可达到调平被测表面而补偿倾斜误差的目的.通过具体应用实例证实了这种补偿方法是有用、灵活而精确的. 相似文献
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以共振隧穿结构为压阻器件可以得到较高的灵敏度,但是当实验选择不同的工作偏压时,这种压阻效应表现得极其不同。由于高灵敏度是依靠较高的I-V曲线斜率获得的,因此最初人们希望选择具有较高峰谷比结构作为器件。但是有些区域的斜率过大,以至于压阻效应失去线性及稳定性而变得没有实用价值。另外,在某些工作区域由于共振隧穿结构本身具有的双稳态特性,而使其完全失去压阻特性。本文对这些问题进行了系统分析,并对一个具体的结构,分析其工作区域及特性,给出最高灵敏度可达700左右。 相似文献
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在硅微机械加工中,封装加工是非常重要的一个过程,对微机械器件实现真空封装后可以极大的提高它的灵敏度等各项技术指标,但目前国内对微机械传感器真空封装技术不成熟.本文主要讲述对陀螺采用玻璃封装时,用于封装的玻璃罩子的加工过程以及玻璃罩子在整个结构中所起的作用,同时叙述了玻璃罩子与微机械结构的键合过程. 相似文献
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推进转型跨越发展,创新体制机制是关键。《总体方案》明确提出,要进一步健全科技创新体制机制,大幅增加研发投入,加大对技术创新的扶持力度,强化创新人才支撑。前不久,山西省人大常委会组织教育界、科技界人大代表围绕推进山西国家大学科技园建设展开专题调研,并从完善配套政策、加大经费投入、整合科技资源等方面形成了深入细致的调研报告,一方面努力为构建集产学研用于一体、有利于助推综改试验区建设的山西科技协同创新基地搭建新的平 相似文献