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本文叙述了多极磁约束的反应离子刻蚀装置。该装置具有结构简单,低损伤和各向异性刻蚀的优点。在射频率为100w,工作压强为1.33(0.01~10)Pa的氩气氛中,典型的离子密度为(1.0~1.5)×10(10)cm(-3),电子温度为1.9~4.1eV,等离子体电位10—50V,有磁场的离子密度比没有磁场的离子密度大几个数量级。它是一种具有广泛应用前景的等离子刻蚀装置。 相似文献
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