二氧化锡薄膜结构对光学气敏特性的影响￣①

研究了ＳｎＯ２薄膜的光学特性及有关光学参数的推导，建立了光学气敏的数学模型。较详细地研究了不同结构的ＳｎＯ２薄膜接触还原性气体后光透射率的变化，采用不同方法制备的ＳｎＯ２薄膜，由于结构不同，光透射率不一样，利用计算机对光学气敏的数学模型进行摸拟计算，其结果能很好地解释上述的现象。     

等离子体技术净化CF4及其生成物机理的探讨

讨论了利用等离子体技术净化CF4及其生成物的方法，分析了净化机理。由四极质谱仪的分析结果发现，CF4等生成物的谱峰强度随射频(RF)功率的增加几乎线性地减小。RF功率达到1．8kW时，已检测不到CF4及其生产物对应的各个谱峰。在净化装置中放置CaO作为吸附剂，在室温下CaO对F有明显的净化作用。采用等离子体技术和化学吸附相结合处理有害气体的方法对环境保护有实际意义。     

湿法制备 STM 针尖过程中影响因素的分析

用电化学腐蚀法，通过快速控制电路控制微针尖的腐蚀。根据电化学的动力学原理，分析了制备过程中电压变化范围、电压切断时间、电解液浓度和钨丝浸入深度等因素对微尖质量的影响，并讨论了微尖形成机制。     

汽车前挡风玻璃用ITO薄膜的隔热与节能性能

通过隔热、节能实验，深入分析了ITO薄膜用于汽车前挡风玻璃的可能性，结果表明，ITO薄膜应用于汽车前挡风玻璃，既能保证超过80%的可见光透过率，又能在炎热的夏季降低驾驶室的温度约5℃（上午）或2.5℃（中午），节约能耗达34%。     

一种简单多极磁约束的反应离子刻蚀装置的研究

本文叙述了多极磁约束的反应离子刻蚀装置。该装置具有结构简单，低损伤和各向异性刻蚀的优点。在射频率为１００ｗ，工作压强为１．３３（０．０１～１０）Ｐａ的氩气氛中，典型的离子密度为（１．０～１．５）×１０（１０）ｃｍ（－３），电子温度为１．９～４．１ｅＶ，等离子体电位１０—５０Ｖ，有磁场的离子密度比没有磁场的离子密度大几个数量级。它是一种具有广泛应用前景的等离子刻蚀装置。     

掺杂对SnO2超微粒薄膜湿敏特性的影响

本文对ＳｎＯ２和掺有３％Ｂ２Ｏ３的ＳｎＯ２超微粒薄膜的湿敏特性进行了研究和比较。采用相同工艺条件制备和处理的样品，其结果并不一样。ＳｎＯ２膜的感湿特性差，而掺杂的ＳｎＯ２膜具有较好的感湿特性，而且其湿敏特性曲线具有较好的线性。