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以甲烷、氢气做为气源,利用微波等离子气相沉积的方法在硅片上沉积金刚石薄膜。研究了不同压强对金刚石薄膜质量的影响。结果表明当气氛压强为9KPa时可获得高质量的金刚石薄膜。 相似文献
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铁氮化物纳米粉末的改性研究 总被引:2,自引:0,他引:2
通过对化学气相法合成的多相铁氮化合物纳米粉末改性工艺的研究,获得了一种均匀、高纯、链球状的单相γ'-Fe4N纳米粉末,测试结果表明,改性后的铁氮化物粉末在物相、成份、形貌、粒径以及比饱和磁化率σs和矫顽力Hc性能指标等方面均得到了实质性改善。 相似文献
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