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Cu掺杂对ZnO纳米薄膜的结构及其光学特性的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用磁控溅射法(RF)在玻璃基底上制备了未掺杂和不同Cu掺杂浓度的ZnO薄膜.使用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)分别对样品的形貌进行了表征,并对Zn0薄膜进行了应力分析.结果显示:所有样品都呈现出(002)衍射峰,有较好的C轴择优取向;所有样品出现有3个发光峰,分别对应于400nm(3.14eV,紫光),444nm(2.78eV,蓝光),484nm(2.56eV,蓝光).紫峰的存在与激子的存在有极大关系,而蓝光发射主要是由于电子从导带上向锌空位形成的浅受主能级上的跃迁.随着Cu掺杂量的增加.薄膜的带隙宽度Eg随之减小,样品光学带隙值由3.26eV逐渐减小为2.99eV.实验中还发现,随着Cu掺杂量增加,薄膜的透射率也随之减小.  相似文献
2.
采用磁控溅射法(RF)在玻璃衬底上沉积不同Al含量的ZnO薄膜,利用X 射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和紫外分光光度计研究了不同浓度的掺杂对薄膜结构和光学性能的影响.结果显示:所有样品都呈现出较强的(002)衍射峰,有较好的c轴择优取向;薄膜表面平整光滑,晶界较明显;薄膜的平均透射率均在85%以上,并随着Al掺杂量的增加而降低;随着Al掺杂量的增加,薄膜的光学带隙值先增大,后减小,吸收边先蓝移,后红移.这与量子限制模型计算结果的变化趋势完全一致.  相似文献
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