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941.
氧分压对磁控溅射BST薄膜及其介电性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
为了应用平板式射频磁控溅射设备制备出良好介电性能的钛酸锶钡(BST)纳米薄膜,研究了溅射过程中不同氧分压(pO2)对沉积薄膜的化学成分、结晶性、表面形貌、电学性能的影响.实验结果表明:纯氩无氧气氛沉积的BST纳米薄膜化学成分符合化学计量比,经750℃、30 min氧气保护热处理后,呈现出BST材料固有的钙钛矿相,有较高的介电常数(rε=700)和较低的漏电流密度(1.9μA/cm2);氧氩混合气氛沉积的BST纳米薄膜,由于氧负离子反溅射作用,使薄膜的化学成分偏离化学计量比,经相同热处理后,不能形成相应的晶体结构,导致薄膜的rε下降、漏电流密度提高,介电性能变坏;pO2的变化对沉积薄膜的化学成分影响不大. 相似文献
942.
缺陷接地结构由于其带阻特性而被广泛地应用到射频微波电路中,以改善电路性能.但是其等效电路参数与物理尺寸间没有简单的解析公式,因此只能通过优化来满足设计要求.利用有限元法,结合多元Padé逼近技术,对提取出来的LC参数进行有理逼近.计算结果表明,Padé有理逼近式能很好地逼近有限元法精确提取的参数,因此,该方法可以大大加快应用缺陷接地结构的射频微波电路的设计和优化. 相似文献
943.
功率较大、频谱较宽的射频电源是D B D放电的关键设备,射频电源的功率和频谱宽度成为了研究DBD放电的瓶颈.本文利用手边的先进的射频电源,利用反向设计的思路,谈讨射频电源的设计要求.用谐振法测量平板放电设备谐振频率和射频电源的等效电感. 相似文献
944.
本文在介绍射频识别(RFID)技术的工作原理及其组成的基础上,提出了频段的概念,并详细分析了射频识别系统在不同工作频段的特性及其应用现状。 相似文献
945.
该文分析了制造系统发展对智能检测前端提出的新要求,提出了一种新型智能检测前端结构,包括数据采集,数据处理与传输等功能。采用信号处理芯片构成的多CPU结构实现检测信号的实时,智能化处理,利用PC104总线CPU板和TMS320C50DSP芯片设计工实现了一个实际智能检测前端装置。 相似文献
946.
947.
麻新纯 《广西民族大学学报》2000,(2)
前端控制是档案管理工作提前介入电子文件的形成、运行和归档管理的文件管理 运行模式,是保障电子文件法律证据价值、信息安全和提供利用的需要。前端控制需要一定的外部 条件,它的实施过程分为超前指导、设计操作和提前接收三大阶段。 相似文献
948.
949.
为了探究沉积气压对ZrO2薄膜光学特性的影响规律,以玻璃和硅片为基底,利用射频磁控溅射的方法在不同沉积气压下制备ZrO2薄膜样品.通过分光光度计测定薄膜在可见光波段的透射光谱,利用椭圆偏振谱仪表征薄膜的折射率、消光系数、厚度等光学参量,利用原子力显微镜观测薄膜表面的微观结构等.结果表明:(1)薄膜的沉积速率随沉积气压的增大而减小,沉积气压为0.4 Pa时沉积速率最大,为0.033 nm/s,沉积气压为1.0 Pa时沉积速率最小,为0.011 nm/s;(2)当沉积气压为1.0 Pa时,200~1 000 nm波段薄膜的平均透射率和折射率均最高,分别为82.71%和2.35,表现出良好的透光性;(3)沉积气压对薄膜消光系数的影响较小;(4)不同沉积气压下制备薄膜的表面粗糙度也不同,沉积气压为1.0 Pa时薄膜的粗糙度最低,为5.5 nm,沉积气压为0.6 Pa时薄膜的粗糙度最高,为25.2 nm. 相似文献
950.
三体式轮胎压力监测系统设计及实现 总被引:1,自引:0,他引:1
由于射频发射距离的限制,当两体式轮胎压力监测系统(TirePressureMonitoringSystem,简称TPMS)被安装在客车、载货汽车等车身较长的汽车上时,系统运行会不稳定。本文介绍了三体式轮胎压力检测系统的硬件组成及软件设计方法。阐述了基于GENPX传感器的轮胎检测模块设计方案和基于摩托罗拉33594接收机的接收模块的设计方案。并给出了模块硬件电路以及相关程序框图和通信协议。 相似文献