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热载流子效应对n-MOSFETs可靠性的影响 总被引:3,自引:0,他引:3
研究热载流子效应对不同的沟道长度n-MOSFETs退化特性的影响.结果表明,随着器件沟道长度的减小,其跨导退化明显加快,当沟道长度小于1μm时退化加快更显著.这些结果可以用热载流子注入后界面态密度增加来解释. 相似文献
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本文对常规PN结隔离工艺提出了一种简单易行的改革方案。其主要特点是采用“三步扩散法”实现硼隔离扩散,减薄了掩蔽硼隔离扩散所需的二氧化砖层厚度,从而缩短了高温热处理时间和生产周期,并有利于光刻质量的提高;采用本方案,还可以减薄外延层厚度,从而提高集成度、减少隔离寄生电容和集成晶体管集电区的体电阻,以利于电路性能的提高。 相似文献