基于DRNN的CMP多区压力系统解耦自适应逆控制

化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)过程中由于柔性弹性隔膜的存在使得各腔室之间压力相互耦合,从而使得多区腔室的压力控制变得复杂。针对这一耦合现象,提出了一种将基于动态回归神经网络(dynamic recurrent neural network,DRNN)在线辨识与神经元解耦和分段变参数复合控制相结合的方案。利用DRNN的非线性映射能力以及神经元的在线实时动态解耦特性,获得对象的逆模型,消除了各区之间的耦合;采用分段变参数控制策略减少了由于初始时刻逆控制模型辨识不准而带来的不利影响和系统动荡,使得整个控制系统趋于稳定。实验结果表明:该方案不仅具有很好的在线辨识和解耦能力,同时较常规定参数比例积分微分(proportional integral derivative,PID)控制还具有自适应能力强、响应速度快、超调量小以及鲁棒性好等特点。     

叶片进排气边缘测量型值点插值方法研究

叶片进排气边缘的测量是航空压气机制造中的难点,分析了节点矢量对NURBS插值曲线的影响规律,提出了一种适合叶片进排气边缘测量点插值的节点因子调节方法KFM,阐述了其基本原理、工作过程。用等距法对理想半圆进行仿真拟合,由KFM得到最佳节点因子,建立符合叶片进排气边缘特点的数学模型,计算评价叶片的特征参数。实验表明,KFM是叶片进排气边缘测量型值点插值的一种有效方法。     

卧式加工中心空间误差对制造误差敏感度分析

该文旨在分析影响卧式加工中心空间误差的关键制造误差,为机床零件公差分配提供依据。用齐次坐标变换的方法建立了机床空间误差模型,分析了机床各轴几何误差在机床空间误差中的传递积累;用统计方法分析了直线进给轴制造误差对几何误差的影响,得到了直线进给轴几何误差公差分析的经验表达式。结合机床空间误差模型和单轴公差分析,计算得到了机...