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提出一种完全新型的VDMOS-NMOS全兼容功率集成结构的设计方法.该结构采用与VDMOS工艺兼容的对接(ButJoint)沟道结构形成NMOS器件,利用VDMOS工艺中p+区反刻过程形成NMOS器件的有源区,利用VDMOS工艺中刻双扩散窗口过程形成NMOS器件的栅区及多晶硅互连线.对MOS电路中的小跨导器件图形的设计及VDMOS与E/EMOS的界面设计进行了分析和讨论 相似文献
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针对VDMOS-NMOS兼容集成结构建立了对接沟道NMOS晶体管工艺模型,根据其工艺模型,采用面向对象的C++编程对对接沟道NMOS结构的杂质分布进行了二维数值模拟,给出了不同工艺条件下的模拟结果,并且进行了分析.结果表明,对接沟道NMOS结构能较好地实现VDMOS与p阱NMOS电路的兼容集成. 相似文献
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对VDMOS-NMOS兼容集成结构击穿时的电场特性进行了二维数值模拟,模拟结果分析表明:在适当的器件几何尺寸与制造工艺条件下,对接NMOS的对接区域对VDMOS-NMOS兼容结构的击穿特性影响很小,对接沟道NMOS结构可以较好地实现VDMOSFET与p阱NMOS电路的兼容集成.同时通过原理性实验对模拟结果进行了验证. 相似文献
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本文论述了电容式氧化铝湿敏元件的感湿原理及多孔氧化铝的成膜机理。通过特性的测试比较,确定了较工艺条件及合理的元件结构,并应用不同的方法对好的影响元件感湿特性的因素进行了分析处理,使其稳定性得以提高。 相似文献
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提出了一种集成式智能化电压调节器的结构,讨论了有关汽车发电系统故障与异常现象,分析了由该集成结构实现各种故障及异常现象判断与处理的原理,并对该电路实现多功能指示与同步激磁进行了设计分析。 相似文献
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