MEMS加工中对准误差的在线提取结构

对准误差是MEMS表面加工工艺中的一个重要参数,对它的测量和控制有着重要的意义。目前大多采用光机械的方法来测量,但是测试方法复杂、测试时间长。主要对MEMS表面加工工艺中导电层和非导电层之间的对准误差测试结构进行了研究,可用于测量表面工艺中牺牲层和多晶硅层之间的对准误差。通过对集成电路中所用的锥形梳状游标结构进行改进,把对准误差的测量转化为电阻的测量,从而实现对准误差的快速电测量,理论上可达到0.1μm的分辨率,测试方法简单快捷,并且很便于测试系统集成。     

流动注射安培检测废水中梯恩梯的研究

采用流动注射分析(FIA)可以快速检测废水中的梯恩梯(TNT)。本文设计了应用碳糊作电极的简易喷壁安培检测池,组装了流动注射分析装置,选择pH=9.5伯瑞坦-罗宾森(Britton-Robinson)缓冲液作为载体,载体流速3.9ml/min,用N_2除O_2;电位-0.60V(SCE),进样体积100μl,连接管长50cm。在所选定的上述条件下,TNT在0.1-70mg/1之间有良好的线性关系,样品回收率在94.4-102.7%之间;进样频率96样/小时。     

网络安全协同防卫系统研究与实现

为了解决防卫体系中各安全模块缺乏协同控制以及不能有效发挥整体效应的问题,提出了一种基于代理的协同控制框架.将各个安全模块关联起来,以实现相互通信和协同工作.在此基础上,构建了包括预警定位、协同安全审计及态势评估、协同事故恢复、网络伪装等功能的网络安全协同防卫系统(NSCDS).以基于机器学习的系统调用序列审计模型为例,对关键技术模块进行了分析和验证,结果表明NSCDS软件在百兆级带宽下,安全审计预警漏报率小于6%,误报率小于8%,各功能模块工作稳定且配合正常,充分显示出系统的综合优势,实现了网络安全多层次、全方位的协同防卫目标.     

火灾工况下城市隧道自然通风模型实验

南京城东隧道采用自然通风方式,为判定其在火灾工况下能否满足安全性要求,开展了火灾工况下隧道自然通风模型实验,考察了最不利工况下烟气排除效果.从理论上探讨了模型与原型的相似规律,并以此为指导搭建模型实验台.结合实验现象和数据,分析了烟气温度、CO2浓度分布变化规律和烟气运动规律,与隧道原型实验进行了对比,验证了实验结果的可信性.并对火灾时逃生人员的安全性进行了分析,得到了烟气温度最高达77.2°C,烟气大部分时间维持在2 m以上高度的结论,此时逃生人员的安全能够得到保证.     

减员增效背景下供电公司低压用户抄表外委项目筹备模式探讨

该文介绍了一种在减员增效背景下,供电公司对低压用户抄表外委项目进行前期筹备的工作模式。通过工作现状调研,评估项目实施的必要性;通过年工作量测算模型,评估外委业务所需的人力资源成本,确立外委工作目标。根据订立的外委工作目标开展项目筹备工作,制定项目实施方案,完备项目前期工作,为项目的推进打好基础。通过该方案在某供电公司的开展情况,证实该文所介绍的方法切实可行;通过项目开展后人力资源成本的统计结果显示,基本实现了供电公司预期确定的降本增效目标,也推进了供电公司营销精益化的管理目标。     

一种自启动高精度高稳定性基准电压源的设计

分析了一种广泛应用于低压差线性稳压器(LDO),DC/DC等电源管理类IC的具有自启动性能的基准电压源设计.通过仿真表明,这种基准电压源具有很高的稳定性以及精度,且动态特性优良.     

努力为转方式调结构提供有力科技支撑

“十一五”是厦门市科技事业发展取得显著成效的五年．全社会自主创新能力得到了很大的提升．为“十二五”经济社会和科技事业自身发展奠定了坚实的基础。     

体硅湿法腐蚀中(110)衬底上的凸角补偿方法

从硅晶胞的空间原子结构出发,对(110)衬底进行研究,提出了针对(110)衬底上规则目标凸角结构的通用补偿方法.以(100)衬底上已提出的图形分析和共性补偿方法为依据,确定了(110)衬底表面特征晶向的平面关系,将所选70℃ 30%(质量分数)的KOH腐蚀液条件下的特征晶面(111)、(311)以及与衬底同簇的(110)晶面与衬底相交,得到平面特征晶向,从而构建补偿图形的拓扑框架,最终选择拓扑框架中的部分晶向构成具体的补偿图形.利用各向异性三维仿真软件对由该方法设计得到的补偿结果进行验证,模拟结果与设计预期相一致,充分证实了该设计方法的正确可行.     

班级后进生的成因

在日常的班级管理中,后进生现象普遍存在,本文从各方面客观的分析了形成后进生的原因,便于教师在教育转化后进生工作中起到一定作用.     

典型工况下城市隧道竖井自然排烟模拟优化分析

为增强竖井自然排烟能力,开展竖井设置方案模拟优化研究。建立了竖井自然排烟能力对比评估模型,通过分析得到评估指标和评估方法。运用FDS对不同高度、横向设置、均匀设置和竖井组不同开口数目4种典型工况下的竖井排烟效果进行了模拟分析。得到优化方案如下：竖井组高度为16 m时排烟能力达到最强,横向设置竖井排烟能力明显强于纵向设置竖井,均匀设置竖井组排烟能力明显强于集中设置竖井组,随着竖井宽高比增加,竖井组的排烟能力逐渐减弱。