硅微加工超声成像传感器的理论模型和优化设计

对硅微加工静电或电容超声成像传感器提出了一个理论模型和数学描述. 根据这个模型, 可从传感器的几何结构尺寸和所用材料的物理参数预测其固有频率、本征模、共振和反共振频率、膜片机械阻抗这些基本性能参数. 同时揭示了这种传感器有两个基本工作模式, 分别对应由膜片和气隙构成的质量弹簧振子共振和膜片本身的一阶弯曲振动模式, 进而提出通过设计使这两个模式耦合展宽带宽的方法, 从而为优化设计提供了理论基础.     

硅铝酸钠溶液脱硅过程物理化学性质的研究

本文重点对硅铝酸钠溶液脱硅过程的有关物理化学性质做了研究,明确了脱硅过程溶液的表面张力、粘度、密度的变化规律。     

BZSM—5分子筛催化乙醇脱水制乙醚

对ＺＳＭ－５原粉用硼酸进行改性后，考察其催化乙醇脱水转化成乙醚的催化反应性能，实验结果表明，经过不同的改性制得的催化剂，对于乙醇的转化率和乙醚的选择性都有较大的影响。文中还探讨了反应温度，空速，乙醇浓度等对催化性能的影响。     

几种复合吸附剂的筛选、电性与结构的研究

本文报导了对铀、锌、铜和锂四种元素具有一定吸附性能的几种钛复合吸附剂研制,其中筛选出钛(Ⅳ)铁(Ⅲ)复合吸附剂较佳,它的制备条件是 Ti/Fe(摩尔比)=1/0.5,沉淀 pH 值为6.0,在加浓铀的人工海水中它的吸铀量为15717微克/克干剂,在天然海水中,逆流通海水十天,它的吸铀量亦是同类吸附剂中较高的,述到114.6微克/克吸附剂。另外,这种复合吸附剂在天然海水中吸铜量是16.55微克/克吸附剂,亦是较高的,它在天然海水中吸锌量是256.1微克/克吸附剂,吸锌量也是较高的。这些结果,对海水综合利用、废水利用环境保护方面等,都有重要的参考价值。另外,在钛复合附剂电性和结构方面的研究,都取得较有价值的信息。吸铀量大的吸附剂,ξ电位绝对值有小的趋势。产生异质同晶的吸附剂吸铀量与吸锌量都较大。     

纳米硅簿膜制备工艺的研究

采用等离子体增强化学气相淀积（ＰＥＣＶＤ）技术，在超高真空系统中，使用大量氢稀释的硅烷作为反应气体，利用Ｒ．Ｆ．＋Ｄ．Ｃ．双重功率源激励，通过低温下硅在氢等离子体放电中的化学输运直接淀积纳米硅薄膜。根据对薄膜样品结构的测定及其制各工艺条件，分析讨论了各工艺参数对淀积后薄膜的影响，从而使纳米硅簿膜的制备工艺趋于完善。     

磷酸钛作为气相色谱固定相的机理探讨

从热力学和动力学角度分析了用不同形态的无机离子交换剂磷酸钛作为气固色谱固定相的分离机理。通过测定被分离有机物在不同柱上的吸附热和熵变，认为在分离过程中并不存在因微晶形磷酸钛的层状结构而产生的分子筛机理，而主要是由吸附作用决定的。测定不同类型的有机物在该类柱上的柱效能及进样量与保留的关系，认为色谱峰扩张主要是由于气相及吸附相传质阻力而引起。微晶形磷酸钛较无定形磷酸钛有较好的分离能力。     

硅中氢致缺陷和微缺陷氢沉淀的消除及其应用

氢气氛下区熔拉制的鼓棱无位错硅单晶，原生晶体经化学腐蚀，观察不到缺陷，包括微缺陷。但当块状热处理后，经腐蚀常常观察到尺度ｍｍ数量级的氢致缺陷（　型缺陷、麻坑）和微缺陷氢沉淀。为了消除这些缺陷，原生单晶需片状供应，片厚应小于１ｍｍ，或中照后的区熔（氢）硅单晶，片状，９４０℃、０．５ｈ退火，均能消除之。在电力电子器件的应用中，管芯等级合格率可保持在８０％以上