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微细加工技术是MEMS技术的核心技术,本文详细介绍了常用的MEMS三维加工工艺、应用现状和发展趋势,并提出了目前这些方法中存在的缺陷。 相似文献
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小波-矩量法以小波基作为矩量法中的基函数,通过Galerkin法可以获得很稀疏的阻抗矩阵,用迭代法求解时可减少计算机内存和计算时间。该文以有限尺寸的频率选择反射面为例,用小波-矩量法分析散射特性和电流分布,着重讨论了阻抗矩阵的稀疏化程度对计算精度的影响。结果表明,当非零元素仅为10%时,仍能达到满意的精度,因此小波-矩量法不失为分析电大尺寸问题的一种有效方法 相似文献
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田敬民 《西安理工大学学报》1994,10(2):105-110
多孔硅是晶体硅片在氢氟酸溶液中进行阳极氧化,在硅衬底上形成多孔态的硅材料。本文介绍了多孔硅的形成和结构形貌,对其光学性质和发光机制进行了扼要讨论,并介绍了当前多孔硅研究中的一些热点问题。 相似文献
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本文在分别简要介绍HP-IB接口、HP3562A和HP9000/320及其控制之后,较详细地讨论了HP-IB接口总线控制HP3562A和进行数据传输的四种有效方法,并给出了程序实例。本文所述的方法同样适用于对其它HP-IB(GP_IB)仪器的控制。 相似文献
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研制出用于制备空间硅太阳电池上电极的小功率脉冲电镀仪,该电镀仪脉冲电流的频率和占空比具有较宽的调节范围,满足高效率硅太阳电池脉冲电镀的要求,与国内,外普遍采用的真空蒸镀硅太阳电池上电极相比较,脉冲电镀可以制备更窄的栅指电极,电池上电极的遮光损失从7% ̄9%降低到3%。 相似文献
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作者讨论了具有优异宽温区特性的多孔PTFE和多孔PP复合膜的电荷储存稳定性.工作在常温常湿条件下的这类多孔复合膜呈现优异的电荷储存稳定性;与传统的驻极体过滤材料聚丙烯无纺布相比,它的疏水性和电荷热稳定性都有显著的改善.作者还讨论了这类复合膜优异电荷储存能力的结构和驻极体根源.该研究结果对驻极体空气过滤器在较宽温区的应用提供了一定的理论和实验依据. 相似文献
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