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微立体光刻技术是基于快速原型制造技术思想的新型微细加工技术。在微立体光刻制造中,光敏树脂在一定波长的光照下发生固化反应,光敏树脂的曝光量阈值和透射深度是光敏树脂的两个重要的特性参数。对掺入质量比20%氧化硅纳米颗粒自行制备的光敏树脂的两种特性值进行测试研究,测量得到光敏树脂在氮气环境中比与在空气中的曝光量阈值小,分别为5.6 mJ/cm2以及86.5 mJ/cm2;加入光吸收剂后的透射深度比不加入光吸收剂的透射深度小,分别为14以及60。根据测量的树脂的特性值,使用实验室开发的微反射镜动态掩膜微立体光刻系统,成功制作微齿轮。 相似文献
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一种基于无相互作用测量的高效密钥分配方案 总被引：1，自引：0，他引：1
研究了别人提出的一种基于无相互作用测量的量子密码分配方案 ,然后分析了该方案限制密钥传送效率的三个因素 ,提出了自己的改进方法。考虑了两种窃听攻击 ,并讨论了该方法如何防止这些窃听 ,以及如何利用保密放大技术从原始密钥序列中提取高度保密的次序列 相似文献
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