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相似文献
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1.
微机电系统(MEMS)技术及其应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
微机电系统是一个新兴的技术领域.阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.  相似文献   

2.
微型夹钳技术是微机电系统研究的重要内容,应用于微装配等领域,在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用。本文选取微型夹钳技术最新研究中有代表性的成果进行了回顾,对微型夹钳的结构材料、制作工艺和工作原理等进行了分析,介绍了微型夹钳的最新研究进展,慨括了研究特点及发展趋势。  相似文献   

3.
微系统是在微米/纳米尺度上开展研究工作的,涉及到多种科学和技术领域,含微电子、微机械、微光学、化学、生物技术和材料等,它是多种技术的综合和多学科交叉的前沿领域,已显示出强大的生命力。微系统研究在传统理论和技术基础上起步和发展,人们在硅片上制作微型机械、微马达和光路系统微型化的惊喜之余,又引起了一些困惑和思考。人们必将冲破传统科学技术和思想,通过科研有所创新和突破,不断开拓进取,真正成为高新技术的生长点和面向市场新的经济增长点,开创21世纪新兴产业,这是当前迫切需要研究的课题。 现在,微系统研究的热点是:微域的科学和技术基础;新的信息获取、传输和处理技术;超精密检测和操作;微系统新材料和微制造技术。  相似文献   

4.
微机电系统(MEMS)的计算机辅助设计(CAD)是MEMS实现商品化的重要基础,CAD技术在MEMS研究过程中具有非常重要的作用.本文概述了微机电系统CAD的研究进展,并介绍了国外在该领域的研究工作.重点研究了微机电系统中的耦合场分析和宏模型与系统级模拟等关键技术问题,针对其与传统机电系统的不同,总结了微机电系统CAD的特点,并据此提出了微机电系统的设计原则.以便能提高微型机电系统的设计质量,缩短研制周期,使之及早走向工业化.  相似文献   

5.
近年来,微机电系统在技术进步和应用数量上有了长足的发展。介绍了微机电系统的特点,分析了微机电系统的发展趋势,对微机电系统面临的挑战进行了探讨。  相似文献   

6.
微机电系统技术及其应用   总被引:3,自引:0,他引:3  
微机电系统是一个新型的多学科交叉的研究领域 ,具有广阔的应用前景。在概述微机电系统发展状况的基础上 ,归结分析了微机电系统在组成结构及特征、材料特性及加工工艺、力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征 ,并对微机电系统的主要应用领域进行了讨论。  相似文献   

7.
微机电系统科学与技术发展趋势   总被引:25,自引:0,他引:25  
阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵与应用范畴,着重介绍了国外MEMS的研究情况,研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术。总结了国内的研究工作,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研制情况,并提出发展我国微电机电系统的几点建议。  相似文献   

8.
 随着微机电系统(MEMS)的微型化,由Casimir吸引力导致的器件黏附失效极大影响了MEMS的应用,如何减小Casimir吸引力甚至将其转化为斥力成为该领域的研究热点。本文综述Casimir力的物理起源、理论计算方法、材料电磁参数的影响规律及电磁超材料在Casimir力调控方面的应用等研究进展。  相似文献   

9.
微流控技术及其应用与发展   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
微流控技术广泛应用于生化分析、疾病诊断、微创外科手术、环境检测等领域。微通道结构的设计与制造、微纳尺度流体的驱动与控制、微流控器件及系统的集成与封装是该领域的3大关键技术。本文综述了微流控技术在这3个方面的发展现状及在不同领域中的应用,展望了微流控技术的发展前景,指出多相微流体的介观传输理论及跨尺度流体的性质将是今后研究的重点与热点。  相似文献   

10.
微动力机电系统研究开发以及面临的问题   总被引:3,自引:2,他引:1  
综述了国外微动力机电系统的研究现状,介绍了它所面临的问题以及解决方法。根据国外研究成果,微动力机电系统分为两大研究方向:微型发动机和微型发电机。这两种微动力机电系统在结构和工作原理上有较大差异,但是都具有微型燃烧室,都需要一个良好的燃烧系统保证高能量输出。微动力机电系统涉及到多种学科领域,每一个问题都需要有综合性的考虑。  相似文献   

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