应用于引信固态安全系统的硅微加速度传感器研究

微机电系统将对引信的发展提供其它技术不可比拟的技术支撑。该文论述了基于ＭＥＭＳ引信固态安全系统的概念及作用原理;针对可应用引于信安全系统的硅微压阻式加速度传感器,用有限元法计算了不同厚度悬壁梁结构在１００００ｇ加速度作用下的应力分布、固有频率,设计了力敏电阻电桥结构,并计算了传感器的灵敏度。最后介绍了压阻式悬壁梁结构的加传感器制作工艺。     

微小卫星技术的发展与思路

 随着微电子技术的发展,特别是近年来以微型机电系统（ＭＥＭＳ）和微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）为代表的微米纳米技术的发展,使得微型卫星、纳型卫星甚至皮型卫星的实现成为可能。 ８０年代以来,Ｄｒａｐｅｒ实验室（美）、ＪＰＬ（美）、ＬＩＴ－ＴＯＮ公司（美）、ＬＩＴＥＦ公司（德）、ＳＡＧＥＭ公司（法）、ＡＤ公司（美）、Ｖｅｃｔｏｒ公司（俄）等相继开展微硅陀螺、微硅加速度计等微型惯性仪表的研究,形成产品,进而进行微型惯性测量组合的研究。     

微机电系统(MEMS)技术的研究与应用

微机电系统是源于微电子加工技术，融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。其特征尺寸极小，学科交叉广泛；技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面；学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域，在民品和军品领域有许多热点应用。本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器，以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的发展前景。     

微机电系统的科学研究与技术开发

着重论述了当前国际上微机电系统的相关基础理论研究、微机电系统制造工艺技术的发展、微机电系统发展动态与趋势，最后强调了探索适合我国国情的微机电系统发展途径的重要性。     

丝裂霉素C诱发人淋巴细胞SCE及小鼠骨髓细胞微核…

研究了丝裂霉素Ｃ（ＭＭＣ）对人外周血淋巴细胞姐妹染色单体交换（ＳＣＥ）频率及小鼠骨髓嗜多染红细胞微核率的影响。实验结果表明，随着剂量的增加，ＳＣＥ频率和微核率亦相应增加，并有明显的剂量－反应关系，相关系数分别为ｒ＝０．９７２１及ｒ＝０．９７９３。本研究对于ＭＭＣ在临床上的应用具有重要的指导意义。     

煤矿矿井技术改造方案专家决策系统研究

综合运用ＥＳ和ＤＳＳ原理及计算机技术,对煤矿矿井技术改造方案专家决策系统（Ｅｘｐｅｒｔ Ｄｅｃｉｓｉｏｎ－Ｍａｋｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ ｏｆ Ｔｅｃｈｍｏｌｏｇｙ Ｒｅｆｏｒｍａｎｔｉｏｎ Ｓｃｈｅｍｅｓ ｏｆ Ｃｏａｌ Ｍｉｎｅｓ,简称ＭＴＲＳＥＳ）进行了研究,着重设计了系统的功能结构、逻辑结构及其主要子系统,并对系统的开发及应用情况进行了简单介绍。ＭＴＲＳＥＳ由数据库、知识库、模型库、方法库、图形库、结果库及其它们的管理系统、人机接口、问题求解系统等８大部分构成,经实实验证,ＭＴＲＳＥＳ的原型设计正确,人机界面友善,具有了的应用前景。     

微型夹钳的最新研究

微型夹钳技术是微机电系统研究的重要内容，应用于微装配等领域，在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用。本文选取微型夹钳技术最新研究中有代表性的成果进行了回顾，对微型夹钳的结构材料、制作工艺和工作原理等进行了分析，介绍了微型夹钳的最新研究进展，慨括了研究特点及发展趋势。     

基于微机电系统CAD研究分析

微机电系统（MEMS）的计算机辅助设计（CAD）是MEMS实现商品化的重要基础,CAD技术在MEMS研究过程中具有非常重要的作用．本文概述了微机电系统CAD的研究进展,并介绍了国外在该领域的研究工作．重点研究了微机电系统中的耦合场分析和宏模型与系统级模拟等关键技术问题,针对其与传统机电系统的不同,总结了微机电系统CAD的特点,并据此提出了微机电系统的设计原则．以便能提高微型机电系统的设计质量,缩短研制周期,使之及早走向工业化．     

丝裂霉素C诱发人淋巴细胞SCE及小鼠骨髓细胞微核形成的研究

研究了丝染毒素Ｃ（ＭＭＣ）对人外周，血淋巴细胞姐妹染色单体交换（ＳＣＥ）频率及小鼠骨髓嗜多染红细胞微核率的影响。实验结果表明，随着剂量的增加，ＳＣＥ频率和微核率亦相应增加，并有明显的剂量－反应关系，相关系数分别为ｒ＝０．９７２１及ｒ＝０．９７９３Ｄ．本研究对于ＭＭＣ在临床上的应用具有重要的指导意义。     

面向CIMS的CAx信息管理与集成系统的研究

结合制造业实施ＣＩＭＳ的整体设计要求,提出了基于产品数据管理（ＰＤＭ）技术与ＳＴＥＰ集成技术设计新型ＣＡｘ信息管理与集成系统（ＣＡｘ－ＩＭＩＳ）的基本构架,全面分析了这一系统应具备的基本功能、Ｃｌｉｅｎｔ／Ｓｅｒｖｅｒ结构与信息模型,并根据不同建模方法与技术分别给出了面向对象的产品数据管理信息模型与基于ＥＸＰＲＥＳＳ的零件特征信息模型。探讨了在系统实现中应解决的若干关键技术,如分布式对象管理框架、基于零件的ＳＴＥＰ信息集成以及与信息管理系统（ＭＩＳ）、车间管理与控制系统的集成接口等。     

国际上微型飞行器研究的进展及其关键技术

微型飞行器（MAV）是MEMS传感器和驱动器技术发展的必然产物,同时也是当今先进国家竞相研究的科技前沿课题。该文综述了世界各国对微型飞行器在固定翼、旋翼、扑翼以及微型动力系统方面的研究进展,指出了MAV研究的几项关键技术,并结合我国实际,提出了我国研究MAV的建议。     

Advanced flow measurement and active flow control of aircraft with MEMS

Advanced flow measurement and active flow control need the development of new type devices and systems.Micro-electro-mechanical systems(MEMS) technologies become the important and feasible approach for micro transducers fabrication.This paper introduces research works of MEMS/NEMS Lab in flow measurement sensors and active flow control actuators.Micro sensors include the flexible thermal sensor array,capacitive shear stress sensor and high sensitivity pressure sensor.Micro actuators are the balloon actuator and synthetic jet actuator respectively.Through wind tunnel test,these micro transducers achieve the goals of shear stress and pressure distribution measurement,boundary layer separation control,lift enhancement,etc.And unmanned aerial vehicle(UAV) flight test verifies the ability of maneuver control of micro actuator.In the future work,micro sensor and actuator can be combined into a closed-loop control system to construct aerodynamic smart skin system for aircraft.     

牺牲层腐蚀技术在微悬臂梁器件制作中的应用

以微悬臂梁的制造工艺为例,探讨了MEMS中的牺牲层腐蚀技术,对牺牲层材料的制备方法和腐蚀牺牲层材料得到微悬臂梁结构等工艺中的关键与核心技术作了详细阐述,从腐蚀机理的角度探讨了腐蚀速率及其影响因素。     

基于RP的MEMS设计制造技术

在介绍快速成形技术以及微机电系统与微细加工技术的基础之上,对比分析了一些基于快速成形技术微细加工方法的优缺点及其最新研究成果.概述了MEMS设计存在的不足,介绍了与微器件再设计相关的基本材料信息库的建立与完善,借鉴虚拟制造的建模方法,以微集成机构为产品对象的桌面式微型工厂建模研究.在此基础上建立网上微器件设计中心.     

Applications of MEMS devices in nanosatellite

micro-electro-mechanical system(MEMS) device has the advantages of both electronic system and mechanical system.With the development of MEMS devices for satellite,it is possible to establish much lighter and smaller nanosatellites with higher performance and longer lifecycle.The power consumption of MEMS devices is usually much lower than that of traditional devices,which will greatly reduce the consumption of power.For its small size and simple architecture,MEMS devices can be easily integrated together and achieve redundancy.Launched on April 18,2004,NS-1 is a nanosatellite for science exploration and MEMS devices test.A mass of science data and images were acquired during its running.NS-1 weights less than 25 kg.It consists of several MEMS devices,including one miniature inertial measurement unit(MIMU),three micro complementary metal oxide semiconductor(CMOS)cameras,one sun sensor,three momentum wheels,and one micro magnetic sensor.By applying micro components based on MEMS technology,NS-1 has made success in the experiments of integrative design,manufacture,and MEMS devices integration.In this paper,some MEMS devices for nanosatellite and picosatellite are introduced,which have been tested on NS-1 nanosatellite or on the ground.     

微机电系统的发展

始于20世纪60年代的微机电系统(MEMS)是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域，是21世纪的核心技术之一．介绍了MEMS的形成、发展、基本研究内容、流行设计分析软件和主要制造工艺应用及微器件、微系统的种类和应用现状．     

微电子机械系统的尺寸效应

针对微电子机械系统(MEMS)在特征尺寸处于微米量级时呈现的特性与宏观机械不同，阐述了尺寸效应对MEMS基础理论研究的重要意义。研究了尺寸的相对性、绝对性以及尺寸效应的基本概念，讨论了几何尺寸效应和力尺寸效应以及其他一些重要物理量的尺寸效应，提出了广义尺寸效应及狭义尺寸效应，为MEMS创新设计及基础理论的系统性研究提出一个新的切入点。     

微机械（MEMS）与微细加工技术

首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述，在此基础上，着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平。指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主，并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势。     

MEMS在控制系统中的应用

微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域，借助于MEMS可以实现微观对象的检测与控制以及宏观对象的分布式检测与控制。综述了基于MEMS的主动控制和传感器网络在控制系统中的应用。     

Research on Micromanipulating Robot Based on Micro Parts Assembly

At present, micro parts assembly is one of the key problems in the fields of micromachine and microelectro mechanical system (MEMS). Performing microassembly by micromanipulating robots is put forward in this paper. Thus based, the general structure of a micromanipulating robot is analyzed briefly. A micro telemanipulating robot developed by the authors with visual monitoring and bilateral force feedback is introduced. The peg in hole task of 0.2mm has been finished successfully by telemanipulation. The operator has gained durative and stable contacting force perceiving.