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相似文献
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1.
以SnCl2 ·2H2 O及乙醇为原料 ,利用溶胶 -凝胶法制备SnO2 纳米薄膜 .探讨了制膜的工艺条件 ,用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质 ,同时考察了薄膜的晶相结构、晶粒尺寸、表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与热处理条件之间的相互关系 .  相似文献   

2.
本文以TiO2溶胶与硅粉混合采用印刷法制备了多晶硅薄膜,利用X射线衍射、I-V测试系统、扫描电镜以及分光光度计表征了样品结构与特性.研究了薄膜退火条件及TiO2晶相对多晶硅薄膜性能的影响.结果表明:在550℃退火1h,TiO2为锐钛矿相的条件下,所制多晶硅薄膜的电导性最好,其电导率与其他条件下的样品相比提高了约1个数量级.  相似文献   

3.
脉冲激光镀膜工艺制备BiFeO3-CoFe2O4多铁性复合薄膜   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用脉冲激光镀膜(PLD)工艺,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备了柱状结构0.7BiFeO3-0.3CoFe2O4(BFO-CFO)多铁性复合薄膜.在薄膜的沉积过程中,通过自组装生长实现钙钛矿结构BiFeO3和尖晶石结构CoFe2O4相的形成以及两相分离.探索了BFO-CFO复合薄膜的生长条件和机制,研究了薄膜厚度对BFO-CFO复合薄膜结构和性能的影响.  相似文献   

4.
用XRD衍射技术分析了基片转动和充氧条件对ZrO2薄膜组成结构的影响,发现在相同低氧压条件下(P≤1.1×10-2Pa)基片转动能够改变薄膜的组成结构,即薄膜发生从四方相到单斜相的转变;随着氧压进一步升高,ZrO2薄膜将由多晶态逐渐转变为无定形结构.同时发现基片转动能够降低充氧条件对表面粗糙度和晶粒大小的影响.激光阈值损伤测量表明,氧压条件影响着ZrO2薄膜的抗激光损伤能力,且多晶结构的激光损伤阈值高于无定形结构.  相似文献   

5.
采用活化溅射方法,在不同溅射电压条件下,在NiTi形状记忆合金表面成功制备出了纳米TiO2生物薄膜.采用台阶轮廓仪和拉曼光谱仪研究溅射电压对薄膜厚度和晶体结构的影响,并对NiTi合金覆膜前后在37℃模拟人体体液中的耐腐蚀性能进行了评价.结果表明,在本实验条件下薄膜为锐钛矿结构,薄膜表面均匀,其主要成分为纳米尺寸的TiO2;TiO2薄膜明显改善了NiTi合金在37℃模拟人体体液中的耐腐蚀性能.  相似文献   

6.
用PEM监控制备TiO_2薄膜及其光学性能的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
使用金属钛作靶材,利用中频反应磁控溅射方法在玻璃基底上制备了TiO2薄膜.为使反应溅射的工作点能够稳定在"过渡区",使薄膜获得理想的化学配比和较高的沉积速率,使用了等离子体发射光谱监控法(PEM)对溅射过程进行控制.利用台阶仪测膜厚,用X射线衍射仪、原子力显微镜、分光光度计以及光学薄膜测试分析仪等手段对TiO2薄膜的结构以及光学性能进行表征,研究了不同工艺条件对薄膜结构和光学性能的影响.结果表明,较高的PEM工作点下制备的TiO2薄膜具有较高的折射率,使用PEM控制的中频反应磁控溅射方法可以制备出性能良好的TiO2光学薄膜.  相似文献   

7.
采用超声喷雾法在玻璃衬底上制备了V2O5薄膜,研究了超声沉积参数对V2O5薄膜微结构以及薄膜晶化生长过程的影响.利用X射线衍射仪(XRD)扫描电子显微镜(SEM)分光光度计和电阻测量等手段对薄膜的晶相结构表面形貌和性能进行了分析.XRD结果表明:V2O5薄膜为斜方晶系结构,当衬底温度(Ts)小于215℃时,沉积的薄膜为非晶态;当Ts≥215℃时,V2O5薄膜开始形成微晶结构,而且随着衬底温度上升,薄膜的择优取向由(001)方向向(110)方向发生了转变.SEM图谱显示了V2O5薄膜的沉积生长过程.当V2O5薄膜温度从室温升高至380℃时,薄膜电阻变化了将近2个数量级;该方法制备的V2O5薄膜光学能隙Eg=2.25eV.  相似文献   

8.
连续片状纳米TiO2薄膜的制备和表征   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用溶胶-凝胶法,通过在制备过程中加入丙烯酸对纳米TiO2胶体颗粒进行表面修饰以及加入引发剂偶氮双异丁腈(AIBN)引发丙烯酸聚合,利用提拉法在载玻片表面制备了纳米TiO2薄膜;采用热分析仪考察了纳米TiO2胶体颗粒中有机物的热解行为,并用X射线衍射仪测定了经不同温度下焙烧后的纳米TiO2粉体的晶体结构;采用原子力显微镜和透射电子显微镜观察分析了薄膜的微观结构;在对不同制备条件下制备的纳米。TiO2干胶进行红外光谱分析的基础上,初步考察了薄膜成膜机理,结果表明,所制备的TiO2薄膜经400℃烧结处理后形成连续、片状、由粒径为6-8nm的纳米TiO2组成的薄膜材料。  相似文献   

9.
用有机金属化学气相沉淀(MOCVD)与溶胶 凝胶(sol gel)法制备二氧化钛薄膜·通过XRD,FE SEM,AFM以及光照TiO2薄膜来降解橙色Ⅱ溶液的方法,研究了TiO2膜的晶体结构、微观表面特性与形貌以及薄膜的光媒特性·比较了不同的TiO2薄膜形成条件对晶格特性与光媒活度的影响·结果表明,成膜温度对薄膜的微观结构及晶体学特性有很大影响;用MOCVD方法得到的TiO2膜,其光媒活度明显高于用sol gel法得到的TiO2膜·  相似文献   

10.
详细介绍了类金刚石薄膜优异的特性,阐述了在等离子化学气相沉积条件下,不同沉积条件对沉积类金刚石薄膜结构特性的影响。衬底的选择直接影响着沉积类金刚石薄膜的性能,不同的衬底直接决定着生成类金刚石结构中sp3相的数量和质量;沉积参数是最为常见的控制条件,对沉积薄膜的总体效果影响也是最大的,改变沉积参数,沉积薄膜的表面将会变得更加光滑致密;常用的掺杂元素是硅和氮,掺杂元素的引入往往是为了降低沉积薄膜的内应力,提高与衬底间的结合力,延长使用寿命等;由于很难直接在金属上沉积类金刚石薄膜,所以常通过制备复合层来改善沉积效果。最后对类金刚石薄膜的发展以及今后研究方向进行了展望。  相似文献   

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