硅的等离子阳极氧化研究

等离子阳极化是一种先进的半导体材料氧化技术,本文评论了目前国际上等离子阳极化技术的进展,报告了我们自己的独创工作。说明了本技术用于半导体器件加工的优点与主要困难。文中较详细地说明了我们自己发展的一种射频激励的直流放电模式及根据它设计的设备。利用这种设备成功地进行了等离子阴极化,并将这种氧化物用于MOSFET的栅区。     

用Marker技术和沟道方向的RBS研究等离子体阳极化膜

等离子阳极化是一种低温半导体材料氧化技术。本文用Marker技术证实了这种膜的氧化机制,并用RBS测量研究了过渡层厚度和膜的成分。并介绍了实验方法与结果。     

一种新型非转移型等离子弧发生器

为了提高非转移型等离子弧发生器的功率和耐用度,提出了一种具有辐散式喷嘴等离子弧发生器.用这种喷嘴结构,对非转移型等离子弧进行了实验研究.与圆拄形阳极喷嘴相比较,等离子弧电压降低了3.2~9.1 V ,而稳定工作的弧电流可增大到200A     

氩等离子焰流特性参数的分析

氩等离子焰流是等离子喷涂常用的热源。测出电弧功率、冷却水带走的热量、气体流量和阳极通道孔的横截面积,将这些量代入由沙哈公式及其它物理定律推导出来的四个方程,就能计算出喷枪出口平面处的氩等离子焰流的平均温度、电离度、焰流速度、密度和焓值。能量平衡原理说明了,输入等离子喷抢的电能量是怎样分配给等离子体的各种粒子组分和消耗在冷却水中的。本文介绍了这种分析方法,讨论了气体流量、喷咀直径对氩等离子焰流上述五个特性参数的影响。     

新型等离子显示器

富士通是等离子显示技术的创始者，目前正在开发一种新型等离子显示器，可用于室内商业空间，并且比目前任何一种类型的显示器都大得多。此外，新显示器还将大大地提高耗能效率。     

世界科技窗

水制氢新技术苏联科学家最近发明一种由水制取氢气的新技术。这项技术是利用“高温等离子化学反应堆”进行的。这种制氢方法比电解法生产效率高得多,可以用于大规模生产。这种新技术的基本原理如下:将微压下的蒸汽通入等离子化学反应堆,在反应堆内维持一种高频放电状态,使水分子发生电离,并在电场的作用下加速而互相碰撞,分     

拉长电弧的等离子喷枪设计与弧压测试

针对在普通等离子喷涂的生产中,喷涂的涂层可靠性和重复性差等缺点,设计了拉长电弧的等离子喷枪．该喷枪能够提高电弧电压并减小电弧电压波动．提出了一种拉长电弧的实用喷枪结构,成功地解决了统一水冷的两喷嘴间的绝缘密封及连接问题．对喷枪测试的结果表明,喷枪的电弧电压波动幅值小．对电弧电压波形的傅里叶变换表明,电源引起的波动是这种喷枪电弧电压波动的主要因素,而喷枪电弧阳极斑点游动引起的波动很小．     

具势亚声速小扰动流动的格子Boltzmann模拟

给出一种新的用于模拟亚声速流小扰动下的格子Boltzmann模型, 通过使用Chapman Enskog展开和多尺度技术, 得到一系列的格子Boltzmann方程,给出了满足亚声速流小扰动线化方程的平衡态分布函数表达式. 数值结果表明, 这种方法能很好地再现经典理论结果.     

一种溢流阀的性能研究

本文用数字仿真技术研究分析了一种双级溢流阀的动态性能.研究结果表明,这种阀的动态特性是令人满意的,因而可以用于计算机辅助测试系统,只要液容足够大即可.文中还说明了用FORTRAN语言编制的仿真程序很有效,而且可以方便地用在其他液压元件场合.     

等离子体点火器设计及其放电特性研究

等离子点火方式是一种最早起源于前苏联的点火技术,其大约于20世纪90年代开始传入我国。直至2000年左右,等离子点火方式才在我国得到改良并开始在较大的范围内进行使用。在等离子点火器在我国改良后,采用的是分级点火的方式,使得小能量放大的问题得到解决,并且在不断发展中得到不断优化。到了目前的发展阶段,这种点火技术已经能够适用于多种类型的煤炭品种。以上研究现状表明,在我国,等离子点火器已经由于其优势和特点得到广泛应用,本文重点针对专业的等离子点火设备——等离子点火器的设计以及其放电特征进行研究和讨论。