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针对用常规光刻热熔法制作折射型微透镜阵列的过程中,临界角效应严重制约了长焦距微透镜阵列制作问题,提出了曲率补偿法;在经过常规光刻热熔成形和离子束刻蚀技术制成的硅微透镜阵列上再涂敷几层光刻胶,以降低各单元微透镜的曲率,然后再次进行加热固化和离子束刻蚀。扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱面阵列,表面探针测试结果显示用补偿刻蚀法制作的微透镜的物方F数和像方F‘数分别可达到49. 相似文献
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氩离子束刻蚀制作大面阵微透镜阵列 总被引:1,自引:2,他引:1
对制作大面阵微透镜阵列的氩离子束刻蚀技术进行了讨论和分析。实验结果表明,衬底材料不同时,制作 表面形貌良好并具有预定参数指标要求的微透镜阵列的工艺条件有明显的差异,给出了在几种衬底材料上刻蚀制作 面阵微透镜列的离子束刻蚀速率束能量之间相互关系的实测结果。 相似文献
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采用光刻热熔法及离子束溅射刻蚀制作面阵石英柱微透镜阵列.表面探针和扫描电子显微镜的测试表明,在不同的工艺条件下制成的柱微透镜的表面轮廓具有明显的差异,给出了描述柱微透镜制作过程中的几个重要工艺参量的拟合关系式. 相似文献
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用于强功率半导体激光器的石英柱微透镜阵列 总被引:1,自引:0,他引:1
采用光刻热熔法及离子束溅射刻蚀制作面阵石英柱微透镜阵列,表面探针和扫描电子显微镜的测试表明,在不同的工艺条件下制成的柱微透镜的表面轮廓具有明显的差异,给出了描述柱微透镜制作 过程中的几个重要参量的拟合关系式。 相似文献
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对制作大面阵微透镜阵列的氩离子束刻蚀技术进行了讨论和分析.实验结果表明,衬底材料不同时,制作表面形貌良好并具有预定参数指标要求的微透镜阵列的工艺条件有明显的差异,给出了在几种衬底材料上刻蚀制作面阵微透镜阵列的离子束刻蚀速率与离子束能量之间相互关系的实测结果. 相似文献
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阐述了采用重铬酸铵明胶为材料制作微透镜阵列的一种方法.该方法可解决微透镜阵列中相邻透镜在制作过程中容易发生相互粘连的问题,从而提高了微透镜阵列的质量.也给出了已制成的微透镜阵列的一些技术参数. 相似文献
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微透镜阵列光扩散片特性研究及制备 总被引:2,自引:0,他引:2
分析了球面微透镜阵列扩散片的扩散和增益特性,利用光线追迹法对其进行了模拟仿真,分析了不同球面半径和球冠高度对扩散增益特性的影响.结果表明,微透镜孔径越小,其扩散性能也好;微透镜的深宽比越高,其增益性能越好.提出了微透镜阵列扩散片的制作,利用自行设计的微区纳米压印机可制作不同深宽比和不同占空比的微透镜阵列模板,通过紫外胶曝光压印技术进行复制,便可形成微透镜阵列扩散片. 相似文献
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以聚酰亚胺和聚二甲基硅氧烷两类材料为例,研究了聚合物微透镜阵列的制备工艺以及与CCD图像传感器芯片的单片集成工艺,阐述了光学聚合物用于单片集成应具有的材料性能,对热熔产生的光刻胶微透镜阵列进行反应离子刻蚀得到了这两种聚合物材料微透镜阵列。 相似文献
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采用二元扩散理论分析离子流场,建立了电场辅助离子交换理论模型。借助计算机数值求解离子交换扩散方程,比较了单微透镜和微透镜阵列两种情况的电场分布,讨论了电场参数变化对微透镜形成的影响。 相似文献
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基于标量衍射理论 ,考虑焦距长度与微透镜尺寸的关系 ,提出了一种新的制作二元光学衍射微透镜的方法———部分刻蚀法 .利用这种方法制作了 2 5 6× 2 5 6硅微透镜阵列 ,并将其与PtSi红外焦平面阵列单片集成在一起 ,使红外焦平面阵列的灵敏度R和比探测率D 都提高了 1.7倍 相似文献
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提出了一种具有较强抗噪能力的频率域鉴别散焦模糊参数的方法。该方法对模糊图像对数频谱图实施极坐标变换,然后计算距频谱中心不同半径下的多方向幅值累加和函数,进而提取第一过零圆环的半径,完成散焦模糊参数的估计。实验结果表明,该方法能够适应带噪散焦模糊图像退化模型的参数估计问题,且具有较高的鉴别精度。 相似文献
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针对传统的超分辨率复原算法边缘保持能力不足,存在振铃效应等问题,提出了基于修正点扩散函数的凸集投影超分辨率复原算法.首先,检测参考图像的边缘;然后,对传统的点扩散函数加一个权值因子进行修正,将点扩散函数分为0°、22.5°、45°、67.5°、90°、112.5°、135°、157.5°8个方向,达到在边缘部分降低点扩散函数作用范围的效果;最后,利用改进的点扩散函数迭代修正参考帧,直到估计灰度值与实际灰度值的误差小到一定范围或达到设定的迭代次数,退出迭代,得到超分辨率复原图像.复原图像的质量采用峰值信噪比、均方误差和结构相似度进行评价.实验结果表明,两类测试图像的峰值信噪比提高范围为3.46~6.91 dB、均方误差降低范围为43.47 ~87.82、结构相似度提高范围为0.050 8 ~0.381 7.提高了超分辨率复原的边缘保持能力和复原图像的质量. 相似文献
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同步辐射球面闪耀光栅的研制 总被引:3,自引:0,他引:3
球面闪耀光栅是国家同步辐射实验室光化学光束线中 1米Seya Namioka单色仪中最重要的色散光学元件 .用于真空紫外波段同步辐射光束线中的球面闪耀光栅的特点是基坯体积大 (直径 6 3.5mm ,曲率半径 1 0 0 0mm ,厚 1 3.5mm) ,闪耀角小 ( 0 .3°~ 8°) .我们曾研制过表面镀铝的熔石英球面闪耀光栅 ,受检测手段的限制 ,最终的结果不太理想[1] .本文引入反应离子刻蚀进行光刻胶灰化处理新技术 ,成功地制作了每毫米 1 2 0 0线、闪耀波长为 1 30nm的锯齿槽形光栅 .这一闪耀光栅已达到实用水平并替代价格昂贵的进口光栅 .1 球… 相似文献
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论述了通过研究特定二次系统的状态函数的零点个数来确定二次系统极限环的个数的方法,与传统的应用庞加莱-本迪克松环域定理的方法相比具有首创新和实用性. 相似文献
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针对当前对工程图尤其是图纸质量较差的旧图纸的全自动矢量化还没有完全成熟可靠的算法,提出了一种新颖快速的半自动矢量化方法,即通过少量的人机交互,在点阵上进行跟踪,得到工程图纸上的矢量,同时也可将矢量所对应的光栅提取出来.既可对工程图纸进行矢量化,又可对其进行智能编辑.算法的特点是快速,准确,并具有良好的鲁棒性,对较差的蓝图也能取得理想的结果 相似文献
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报导了锁相列阵激光器产生的亚纳秒光脉冲,测得光脉冲宽度的典型值为200ps,光脉冲的峰值功率可达380mW. 相似文献
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