MEMS加工中对准误差的在线提取结构

对准误差是MEMS表面加工工艺中的一个重要参数,对它的测量和控制有着重要的意义。目前大多采用光机械的方法来测量,但是测试方法复杂、测试时间长。主要对MEMS表面加工工艺中导电层和非导电层之间的对准误差测试结构进行了研究,可用于测量表面工艺中牺牲层和多晶硅层之间的对准误差。通过对集成电路中所用的锥形梳状游标结构进行改进,把对准误差的测量转化为电阻的测量,从而实现对准误差的快速电测量,理论上可达到0.1μm的分辨率,测试方法简单快捷,并且很便于测试系统集成。     

基于小波神经网络的双电极同步伺服放电加工工艺效果预测

针对非导电工程陶瓷双电极同步伺服放电加工工艺参数与加工效果问的高度非线性,提出了一种既能充分利用神经网络的自学习能力,又能利用小波良好的时频局部化特性的非导电工程陶瓷双电极同步伺服放电加工效果预测的小波神经网络方法,并建立了预测模型,同时将预测结果与传统神经网络模型的预测结果进行了比较。结果表明,小波网络模型的收敛速度和预测精度均优于传统神经网络模型。     

提高聚苯胺导电织物导电性能的研究

分析了基布材料、织物结构、导电物质、制备工艺等对织物导电性能及聚苯胺沉积状态的影响;综述了提高聚苯胺导电织物导电性能的方法,如通过酸掺杂、加入金属离子等增加织物表面的导电因子,通过磁场、超声场等外场提高聚苯胺的分布均匀度,通过改变加工工艺、基体材料改性等提高聚苯胺在植物表面分布的均匀度和连续性;指出采用原位聚合法制备聚苯胺是最有希望实现导电织物市场化的方法,但仍然存在着亟需解决的问题,有待进一步研究.     

非导电工程陶瓷电火花磨削热量分配模型

对非导电工程陶瓷加工新技术--双电极同步伺服跟踪电火花磨削加工(EDGSSDE)中产生的热量进行了分析,建立了EDGSSDE的热源模型和热量在非导电工程陶瓷、金属结合剂砂轮、磨屑和工作液间的分配模型,并进行了数值计算.计算结果表明,热量在金属结合剂砂轮和工作液间的分配随着加工深度的增加而逐渐减小,热量在非导电工程陶瓷间的分配随着加工深度的增加而逐渐增大,热量在磨屑间的分配比很小,且随着加工深度的增加变化不大.加工中工作液和砂轮带走大部分的热量.     

非导电工程陶瓷电火花磨削热量分配模型

对非导电工程陶瓷加工新技术——双电极同步伺服跟踪电火花磨削加工（EDGSSDE）中产生的热量进行了分析，建立了EDGSSDE的热源模型和热量在非导电工程陶瓷、金属结合剂砂轮、磨屑和工作液间的分配模型，并进行了数值计算。计算结果表明，热量在金属结合剂砂轮和工作液间的分配随着加工深度的增加而逐渐减小，热量在非导电工程陶瓷间的分配随着加工深度的增加而逐渐增大，热量在磨屑间的分配比很小，且随着加工深度的增加变化不大。加工中工作液和砂轮带走大部分的热量。     

电器产品复杂零件导电触片级进模设计

应用大型三维Pro/E软件，设计了电器产品复杂零件导电触片的多工位自动级进模，系统解决了模具排样的难点，制定了零件的加工工艺，设计了模具结构。     

炭黑／结晶性含氟树脂合金在自控温加热电缆中应用

选择了结晶性含氟树脂添加改性剂为树脂基体，与炭黑制居复合导电体系。通过这个对体系不同条件下ＰＴＣ特性的研究，对其配方与加工工艺进行优化。并利用扫描电镜，Ｘ射线衍射，ＤＳＣ等分析测试手段，对体系的各种开矿结构进行了研究，阐明了该导电复合体系的形态结构与性能的关系。     

ZnO基透明导电薄膜的研究应用进展

本文概述了ZnO基透明导电薄膜在硅基薄膜太阳电池中的应用前景及其最新研究进展。介绍了利用透明导电薄膜绒面结构提高薄膜太阳电池效率的方法,并对绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法和研究进展做了详细的阐述．重点讨论了近期关于制备工艺和薄膜绒面结构、电学及光学特性关系的研究结果。     

超精密气囊工具抛光方法的研究

针对气囊数控抛光获得高精密非球曲面零件的方法,分析了气囊抛光实验样机的结构、运动控制系统组成、柔性气囊的构成以及气囊进动运动方式和气囊抛光的加工原理.研究了气囊抛光工艺扩展可行性以及抛光过程中控制工件面形、表面质量和处理边缘效应的方法.研究表明气囊抛光工艺具有可扩展性.在试制的实验样机上进行了工艺参数综合实验,实验结果表明:利用气囊抛光方法可以加工出超精密光滑的表面,该方法是加工和制造超精密光学表面的有效方法.     

“非导电工程陶瓷电火花加工技术研究”获教育部高等学校科技进步二等奖

由中国石油大学(华东)机电工程学院博士生导师刘永红教授主持完成的“非导电工程陶瓷电火花加工技术研究”获得2006年度教育部高等学校科学技术奖科技进步二等奖。该项研究成果还通过了由教育部组织的专家鉴定。专家鉴定委员会一致认为,该项成果达到了国际领先水平。“非导电工     

Si3N4陶瓷齿轮的电火花珩齿工艺研究

为实现氮化硅陶瓷齿轮的电火花加工新工艺,将氮化硅齿轮的加工采取电火花线切割及电火花珩齿工艺,并研究了该工艺的规律性及其工装特点。结果表明该工艺有效可行。     

超高速磨削相关技术与工业应用

超高速磨削加工是先进制造方法的重要组成部分,是各种加工材料获得精确尺寸和表面完整性的主要加工方法。论述了超高速磨削相关技术,分析了超高速外圆磨削、快速点磨削、高效深切磨削等超高速磨削加工技术的国内外现状、最新进展及在工业中具体应用,阐述了发展超高速磨削加工的重要性。     

用数据包络分析法评价可加工陶瓷材料的可加工性

为了客观评价陶瓷材料的可加工性，建立了可加工陶瓷材料可加工性评价的数据包络分析模型．选取被评价的可加工陶瓷材料为决策单元，将材料的性能参数经过数据处理后作为决策单元的输入指标，将材料的加工过程参数经过数据处理后作为决策单元的输出指标。分别生成决策单元的输入指标数据序列和输出指标数据序列，并构造数学规划模型，根据优化理论求出可加工陶瓷材料决策单元的最优解，通过比较最优解评价材料的可加工性．以5种复合陶瓷Ce-ZrO，／CePO4作为评价实例，综合考虑可加工陶瓷材料性能参数和加工过程参数之间的关系，获得材料的可加工性排序．评价结果表明，数据包络分析法能够客观评价可加工陶瓷材料的可加工性．     

On time-domain methods for milling stability analysis

As a basic and advanced machining technique,the high-speed milling process plays an important role in realizing the goal of high performance manufacturing.From the viewpoint of machining dynamics,obtaining chatter-free machining parameters is a prerequisite to guaranteeing machining accuracy and improving machining efficiency.This paper gives an overview on recent progress in time domain semi-analytical methods for chatter stability analysis of milling processes.The state of art methods of milling stability prediction in milling processes and their applications are introduced in detail.The bottlenecks involved are analyzed,and potential solutions are discussed.Finally,a brief prospect on future works is presented.     

工程陶瓷材料去除过程研究

用有限元法对增韧氧化锆和低纯度氧化铝陶瓷依靠初始裂纹的形成,扩展和转折而实现的切屑形成和材料去除过程进行理论研究,并分析裂纹扩展路径的影响因素。所得主要结论通过现场观察和高速摄影机拍摄的系列照片得到了验证。     

磨粒辅助电火花加工金属基复合材料实验研究

针对金属基复合材料的加工难题,提出了采用磨粒辅助电火花法加工该类材料。利用电火花加工和磨粒辅助电火花加工2种方法,对比研究了金属基复合材料加工时的材料去除率和表面粗糙度。利用正交试验法研究金属基复合材料中增强相的不同体积分数对加工效率的影响,得到了磨粒辅助电火花加工的最佳工艺参数。实验结果表明,磨粒辅助电火花加工法在材料去除率和表面粗糙度方面均优于电火花加工法,各加工参数对加工效率的影响从大到小依次为占空比、平均电流、脉冲宽度,复合材料的增强相的比例是影响加工效率的主要因素之一。     

Thermal Aspects for Face Grinding of Ceramics

To meet the increasing demand on the quality and co st of precision structural components, extensive studies on high efficiency and pr ecision machining of ceramic materials, including face grinding, have been condu cted over the past several years. However, there are few reports about the mecha nism in face grinding of ceramics, especially the thermal aspects during the gri nding process. In the present study, experiments of face grinding two typical ce ramics were carried out to study themal aspects at t...     

基于工作过程系统化的数控加工课程开发与实践

针对现行数控加工课程教学实践中存在的问题,阐述了基于工作过程系统化的数控加工课程开发过程：行动领域分析、学习领域设计、学习情境设计、课程实施方案设计等.实践证明：通过此项改革,学生获得与工作岗位和工作过程相关的知识,提高了学生职业素养与职业能力.     

工程陶瓷磨削特性试验

对四种典型工程陶瓷材料的磨削特性进行了试验研究，得出了磨削力、磨削比及比磨削能的变化规律，确定了工程陶瓷磨削特性的评价参数。研究结果对工程陶瓷的加工应用具有指导作用。     

Compound machining of silicon carbide ceramics by high speed end electrical discharge milling and mechanical grinding

A compound process that integrates end electrical discharge (ED) milling and mechanical grinding to machine silicon carbide (SiC) ceramics is developed in this paper. The process employs a turntable with several uniformly-distributed cylindrical copper electrodes and abrasive sticks as the tool, and uses a water-based emulsion as the machining fluid. End electrical discharge milling and mechanical grinding happen alternately and are mutually beneficial, so the process is able to effectively machine a large surface area on SiC ceramic with a good surface quality. The machining principle and characteristics of the technique are introduced. The effects of polarity, pulse duration, pulse interval, open-circuit voltage, discharge current, diamond grit size, emulsion concentration, emulsion flux, milling depth and tool stick number on performance parameters such as the material removal rate, tool wear ratio, and surface roughness have been investigated. In addition, the microstructure of the machined surface under different machining conditions is examined with a scanning electron microscope and an energy dispersive spectrometer. The SiC ceramic was mainly removed by end ED milling during the initial rough machining mode, whereas it is mainly removed by mechanical grinding during the later finer machining mode; moreover, the tool material can transfer to the workpiece surface during the compound process.