LiH薄膜制备技术进展

纳米厚度、表面光滑的氢化锂薄膜的制备研究具有十分重要的意义。综述了氢化锂薄膜的制备方法:电阻蒸发法和磁控溅射法。比较研究后认为这两种制备方法制备的氢化锂薄膜,表面粗糙度高,不能达到软x射线多层膜的要求。而脉冲激光气相沉积法可以制备表面超光洁,厚度最小为几个纳米的薄膜,是制备表面光滑的薄膜的一种重要制备方法。     

浸渍法制备聚苯乙烯滤光膜均匀性的研究

利用浸渍法制备了聚苯乙烯(C8H8)滤光膜,通过改变薄膜在溶液气氛中的静置时间,制备了不同的样品.用α-step100台阶仪测量样品厚度,并研究了薄膜均匀性与静置时间的关系.结果表明,静置时间对C8H8滤光膜的均匀性是有影响的.用插值方法进行拟合,修正了计算膜层厚度的Landau-Levich理论公式,修正后的公式可适用于固化的薄膜厚度计算.     

薄膜厚度对蒸发制备Cu膜内应力的影响

文章采用电子薄膜应力分布测试仪 ,对薄膜厚度随 Cu膜内应力的变化进行了研究。同时用 X射线衍射 ( XRD)技术测量分析了薄膜的微结构以及 Cu膜的微结构对其应力的影响。研究结果表明 :随着薄膜厚度的增加 ,蒸发制备的 Cu膜内应力由张应力变为压应力 ,压力差也逐渐减小 ,且内应力分布随膜厚的增加趋于均匀 ,Cu膜结晶明显 ,晶粒逐渐长大     

光学薄膜厚度监控的研究

光学薄膜厚度监控的研究魏红振杨杨李家熔（华中理工大学激光工程研究院武汉４３００７４）对于多层薄膜的制备，精确监控每一层膜的厚度是必须的，否则不可能制备一个预期的薄膜系统。应用最广泛的监控方法是采用光电检测，直接测量薄膜透过率或反射率值的极值控制方法。...     

脉冲激光沉积法(PLD)制备InGaN薄膜的膜厚分布特征

【目的】探究脉冲激光沉积法(PLD)制备InGaN薄膜时薄膜的厚度分布规律,以便于能够改善薄膜的均匀性。【方法】在实际情况中,靶材和基片并不平行,取任一无限小面积元近似作为平行靶材时的情况来分析,研究此处各项等效参数即可得到该处的膜厚。【结果】当靶材与基片的倾斜角为0°时,靶材激光照射点处的法线与基片相交处的膜厚度最大,以该点为中心,基片两侧膜厚呈对称分布,且越远离基片中心点,膜的厚度越小;当靶材与基片的倾斜角不为0°时,基片左右两侧膜厚不对称分布,靠近靶材一侧的薄膜厚度大于远离靶材一侧的薄膜厚度,倾斜角越大,两侧膜厚的差异越大,膜厚最大的点不在基片中心处,而是偏向靠近靶材的一端,倾斜角越大,偏离越明显。靶基距增大,所形成的膜厚度均匀性提高,但与靶基距较小时相比,相同时间内沉积的膜厚度要低得多。【结论】PLD制备InGaN薄膜过程中,基片各处上的薄膜受倾斜角和靶基距的影响,厚度不均匀,存在一个厚度分布。     

薄膜厚度对Cu膜光电性能的影响

在室温条件下,用直流磁控溅射Cu靶制备出了不同厚度的Cu膜,测量了Cu膜的光学透过率和面电阻,分析了光电性质薄膜厚度的变化情况．实验结果表明,随着Cu膜厚度的增加,其光学透过率逐渐减小,透过率在波长为580nm处出现峰值．Cu膜的面电阻随薄膜厚度的增加先急剧减小,然后减小变得缓慢,最后趋于定值．理论模拟了Cu膜的光学透过率随薄膜厚度的变化和光学透过率随入射光波长的变化,理论模拟结果与实验结果吻合．     

Cu层厚度对NiFe/Cu/Co 的巨磁电阻效应影响

用磁控射频溅射法制备了NiFe/Cu/Co多层膜;研究了薄膜的磁特性和磁电阻特性与中间层Cu厚度的关系.在适当的Cu层厚度下 (大约为2 nm),制备出了具有很好自旋阀巨磁阻效应的多层膜.研究表明,在弱磁场下,薄膜的磁电阻回线的斜率与原来的磁化过程有关,因此该薄膜材料可以用于巨磁电阻存储器中.     

膜厚对溶胶-凝胶法制备Al、Ga共掺杂ZnO薄膜性能的影响

采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃衬底上制备不同膜厚的Al、Ga共掺杂透明导电ZnO薄膜.其他参数一定的情况下,通过控制旋涂次数得到不同厚度的薄膜,研究了薄膜厚度对GAZO薄膜的物相结构、表面形貌以及光电性能的影响.实验结果表明:所制备的GAZO薄膜均为六方纤锌矿结构多晶薄膜.随着膜厚的增加,GAZO薄膜(002)衍射峰强度增强,晶粒尺寸变大,薄膜结晶质量提高.在可见光范围内薄膜的平均光学透过率大于88%,薄膜电阻率随膜厚的增加逐渐减小.膜厚为10层(250nm)的GAZO薄膜光电综合性能最佳,其平均光学透过率高达98.5%,电阻率为4.9×10-3Ω·cm.     

氢化锂薄膜防水解技术的研究

运用磁控溅射方法溅射在贴有聚乙烯膜的硅片上沉积氢化锂薄膜,并在氢化锂薄膜的表面沉积不同厚度的铝膜。采用x射线衍射和红外光谱测试,分析研究了不同厚度铝膜对防止氢化锂薄膜分解所起的作用。研究结果表明,随着铝膜厚度的增加,氢化锂薄膜与水或CO_2反应变质的几率越小,铝膜厚度为55 nm时,样品测试结果显示铝膜对氢化锂薄膜起到了一定的保护作用,延缓了氢化锂薄膜与空气中水和CO_2等杂质的反应。     

粉末溅射SnO2:Pt薄膜和SnO2/SnO2:Pt双层膜的气敏特性

用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2 :Pt薄膜和表面层掺杂SnO2 /SnO2 :Pt双层膜 .实验结果表明 ,由室温至 2 0 0℃ ,这两种薄膜对CO气体均显示了较高的灵敏度和选择性 .单层膜厚度和双层膜导电层及气敏层厚度对灵敏度有明显的影响 .通过对掺杂单层膜和双层膜气敏特性的比较 ,对粉末溅射SnO2薄膜的气敏响应机理进行了探讨 .     

Silica photonic crystals with quasi-full band gap in the visible region prepared in ethanol

Monodisperse silica spheres of 252 nm with a standard deviation of 5.7% are prepared by Stber method. By compari-son of both of media, ethanol instead of water is used to assemble opal, and the artiflcial opal has been prepared by the sedimentation inethanol of silica spheres. The structure of the opal prepared has been examined and discussed. The results show that the artificial opal hasa structure similar to the face-centered cubic (fcc) type packed system with silica spheres. Transmission measurements of the artificial opalhave been conducted, which shows that the artificial opal is quasi-full band gap silica photonic crystals in the visible region.     

反蛋白石结构硫化锑光子晶体的制备

用改进St ber法制备出单分散的SiO2胶球.通过离心沉降法将SiO2胶球有序排列,得到蛋白石结构的SiO2光子晶体,该方法可制备出较大尺寸的蛋白石结构光子晶体.以得到的SiO2光子晶体为模板,通过化学反应向模板间隙填入Sb2S3后再经氢氟酸腐蚀去除二氧化硅胶晶模板,制备出反蛋白石结构硫化锑光子晶体.     

铁掺杂钛基反蛋白石材料的性能表征及其可见光催化活性

采用溶胶凝胶法制备了不同掺杂比的铁掺杂二氧化钛反向蛋白石结构材料,通过扫描电镜,X射线能谱及紫外可见分光光度仪等对掺杂前后的样品进行比较,并采用罗丹明-B作为降解底物,对掺杂后样品在可见光下的光催化降解活性进行了研究。结果表明,铁掺杂后,样品的吸收带边发生红移,光响应区域扩展至550nm,且样品中表面羟基氧的含量最高可提高到40%。铁掺杂样品的催化活性明显优于未掺杂的样品,其中掺杂比为10%的样品光催化降解活性最高,经可见光照射4h后,其降解率可达85%以上。     

一种骨料碱活性检测新方法

提出一种新的骨料碱活性检测方法——溶胶-凝胶膨胀法，并用其对蛋白石和天然骨料的碱活性进行了研究，试验结果表明，利用溶胶-凝胶膨胀法，蛋白石表现出明显的碱活性，并且发现在蛋白石掺量为最劣点时的溶液中SiO2含量和SiO2／Na2O摩尔比都达到最值，膨胀量也达到最值。     

华东某地蛋白石的初步研究

本文讨论了华东某地蛋白石的成分、物理性质、组构和成因机制等。并同已知蛋白石资料进行了对比。     

电沉积法制备Cu_2O与ZnO反蛋白石的复合材料

通过两步电沉积法,利用聚苯乙烯(PS)微球作为模板制备Cu2O与ZnO反蛋白石的复合材料.在UV-vis谱中观察到了明显的光子禁带,而且复合材料的光子禁带随ZnO反蛋白石禁带的改变而改变.此外还研究了温度和pH值对制备Cu2O与ZnO反蛋白石的复合材料的影响.     

苏皖凹凸棒石粘土中蛋白石矿物学特征

本文对产于苏皖凹凸棒石粘土层中的蛋白石从其物性、形态及结构上进行了研究。研究表明，其蛋白石为ＣＴ－蛋白石。对蛋白石矿物特征的研究为划分对比凹凸棒石粘土层，研究凹凸棒石粘土的成因奠定了基础。     

Treating temperature effect on bandgap in polymer opal photonic crystals

The optical reflective spectra and microstruc- tures of polystyrene opal photonic crystals treated with dif- ferent temperatures have been investigated. With tempera- ture increasing, the polystyrene spheres in opal structure transform to dodecahedrons, and the peak of reflective spec- trum moves to shorter wavelength. The experiment result testifies the effect of the effective refractive index and the filling ratio to the bandgap position, and it corresponds to the theoretical simulative result.     

Quaternary high-resolution opal record and its paleoproductivity implication at ODP Site 1143,southern South China Sea

The correlation of opal content and MAR with oxygen isotopic records of benthonic foraminifera at Site 1143, southern South China Sea indicates that,since about 900 ka,the increasing opal content and MAR during the interglacial periods is inferred to reflect the bigher surface productivity ,for the intensified summer monsoon during the interglacial periods would result in the enhanced upwelling and nutrient supply,Time-sequence spectral analyses of oxygen isotopic record ,opal content and MAR at intervals of 0-900 ka reveal that the changes of surface productivity were dominantly forced by the variations of the earth orbital cycles.     

在乙醇介质中制备SiO2光子晶体及其表征

以乙醇为介质,用二氧化硅球沉降法制备有序性较好的人工欧泊(Opal),并对二氧化硅球排布进行了显微形貌及透射谱表征.结果显示二氧化硅微球有序堆积,其结构为类面心立方晶型,与目前的理论研究结果符合得很好.