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研究了一种新型自对准硅化物MOS晶体管制备技术,通过Co/Si固相反应在源漏区和栅电极表面形成一层自对准的低电阻率CoSi_2薄膜,在CoSi_2/Si结构中进行杂质离子注入,用计算机模拟程序对离子注入杂质分布及损伤进行计算,选择适当的注入能量,使注入的杂质浓度峰值位于CoSi_2/Si界面附近,经快速退火,可获得界面载流子浓度较高、性能优良的增强型和耗尽型NMOS晶体管。该文还研究了注入在CoSi_2/Si结构中的杂质在不同的热处理条件下的分布变化,结果表明,磷在热处理过程中,存在向硅衬底较强的扩散趋势,而硼则明显不同。 相似文献
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添加硅溶胶对超稳Y沸石水热稳定性的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
由于残余氟化物、氧化钠及非骨架硅铝碎屑等因素的影响,削弱了(NH4)2SiF6液相处理NaNH4Y制得的超稳Y沸石FSY的水热稳定性.本文通过在FSY制备过程中外加硅溶胶,改善了FSY的水热稳定性,其原因可能是这种外加硅源比骨架中夹带的非骨架硅或水热处理过程中因部分骨架崩塌而生成的非骨架硅更易发生因相硅迁移,从而减轻了骨架崩塌的可能性. 相似文献
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该文对生长在Si,Ge及共合金衬底上形变的Si1-xGex合金中由替位原子或空位缺陷产生的能级进行了研究。其中形变合金电子的用经验的紧束缚方法进行计算,缺陷能级采用格林函数法进行计算。结果表明,晶格中的形变使原来类的p的T2能级发生分裂。形变速造成合金的价带有较大的上升,从而使某些杂质的缺陷能级由深能级变为共振能级。 相似文献
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Co/Ti/Si三元薄膜固相反应外延CoSi2过程实验研究 总被引:2,自引:0,他引:2
CoSi2是近年亚被活跃研究的一种微电子导电薄膜材料,采用Co/Ti双层及TiN/Co/Ti多层结构,通过不同热处理工艺,可以形成CoSi2/Si异质外延结构。通过XRD,AES,RBS,四探针等测试,研究了CoSi2外延生长时,Co,Ti,Si,O原子的互扩散过程,阐述了Ti在些过程中的重要作用。 相似文献
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利用水热反主尖,成功在地160℃的低温下,直接在蒸钛硅衬底表面合成了多晶BaTiO3薄膜。扫描电镜观察发现薄膜的组织结构均匀、致密、平均晶粒尺寸约100nm。对比快速热退火前后薄膜的扩展电阻深度分布、SEM形貌象和X射线衍射谱发现:薄膜呈多层结构,退火前为立为BaTiO3/非晶BaTiO3-x/Ti/Si,退火后变为四方BaTiO3/Ti/Si。 相似文献
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本文介绍用硅钼黄示差光度法快速测定硅藻土中SiO2该法准础度、精密度可靠,也可用于其它粘土矿物中SiO2的测定。 相似文献
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用电子显微镜直接观察晶体中原子排列的成象条件,本文作了概括的理论分析.用实例说明了三种情况:反映晶体结构及缺陷的结构象;在特殊情况下与晶体结构对应的细节可以超过仪器的分辨率的超高分辨象;二元合金中能直接反映原子有序排列的超结构象. 相似文献
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八面沸石在精细有机合成中的催化作用研究——XV脱铝超稳Y催… 总被引:2,自引:0,他引:2
研究脱铝USY催化羧酸与醇的直接酯化反应,考察了催化剂硅铝比对酯化反应的影响及不同类型酸醇酯化的一般规律,结果表明,脱铝USY是酯化反应的良好催化剂。 相似文献
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结合特殊点方案,利用自包容子程序,应用扩展休克尔理论到离子晶体。计算了NaCl晶体的电子结构,进行了理论分析,找出了NaCl晶体的能隙和价带宽度,定性解释了中性基态Na原子的低能ESD实验的结果。 相似文献
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采用分子束外延方法生长了GexSi1-x/Si应变超晶格,利用X射线双晶衍射,小角衍身宽角衍射方法测量了超晶格样品的实验衍射曲线,运用X射线运动学理论和动力学理论,分析,模拟了样品的实验曲线,得到了精确的定量结构参数数据,并根据实验曲线中衍射峰的位置和分布情况对应变超晶格的生长质量做了评价。 相似文献
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在对用XRD表征确证分属于TS-2分子筛和无定形TS氧化物(简称ATS)结构的一系列样品进行红外表征时,首次发现在分子筛骨架与无定形表面都存在Ti-O-SiO3健,但这两者在红外上是可区分的,前者作为骨架钛振动带出现在962.5~966.7cm-1处,而后者作为非骨架钛振动带则出现在945~956cm-1处,即后者明显发生了红移.分子筛骨架振动带(1226,556cm-1)强弱对其Ti-O-SiO3带的位置影响不大,比较而言骨架带弱的约有2.0cm-1的红移.苯酚羟基化结果表明在分子筛骨架上的Ti-O-SiO3活性位上苯酚羟基化生成邻苯二酚和对苯二酚;而处于无定形表面的非骨架Ti-O-SiO3活性位上只生成邻苯二酚 相似文献
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采用磁控溅射方法制备Mo/Si多层膜。通过小角X射线散射图证明该多层膜是原子水平的,界面清晰,与设计周期基本相同。通过X射线衍射方法检测了该多层膜的组成和结构,同时对Mo/Si多层膜的位错密度等参数进行定量研究。结果表明,该超晶格的位错密度随周期厚度的减小而增大,晶粒尺寸随周期厚度的减小而减小。 相似文献
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采用吸附色谱法首次研究了Y型沸石的结构,化学组成与吸附保留值(Vg)之间的变化规律。实验证明苯和正己烷的Vg值及其差值ΔVg都与Y型沸石的物化参数硅铝比等之间有良好的线性关系,由Vg-M标准曲线可准确判断沸石结构状况,同时能快速准确测算试样的硅铝比等参数。 相似文献
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在对用XRD表征确证分属于TS-2分子睡无定形TS氧化物结构的一系列样品进行红外表征时,首次发现在分子筛骨架与无定形表面都存在Ti-SiO3键,但这两进在红外是可区分的。 相似文献
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用不同模板剂考察成胶因素对TS分子筛合成及催化性能的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
本文考察了TS分子筛合成中不同结构的有机胺类模板剂对硅酸乙酯(TEOS)和钛酸丁酯Ti(BuO)4水解成胶的影响,我们发现TEOS和Ti(BuO)4的水解速度、水解产物的存在形式,胶液的pH值以及水解时是否有协同作用对分子筛的合成和催化性能有重大影响。苯酚羟基化结果表明:具有分子筛结构的催化剂显示出较高的催化活性,产物主要是邻苯二酚和对苯二酚。而含Ti-O-SiO3结构的无定形钛硅氧化物也有一定的活性,但只生成邻苯二酚而没有对苯二酚。 相似文献
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采用密度泛函理论的离散变分Xα方法(DV-X)α,对表面掺杂N原子后的NiTi合金表面TiO2的电子结构进行了计算,得到各原子间的键级、电荷分布、Mulliken集居数和态密度.结果表明:表面掺杂后,在Ti原子的3d,4s,4p轨道和N原子的2p轨道之间发生了有效的作用,改变了表面膜的电荷分布,表面负电荷增加,从而抑制了C1-等阴离子的吸附,阻碍电子的失去,提高了其抗点蚀的能力;同时,也有利于体液中Ca2 、PO4在表面沉积形成羟基磷灰石,使NiTi合金的耐腐蚀性得到进一步提高.这一理论计算阐明了NiTi合金表面掺N后抗腐蚀性和生物相容性提高的机制. 相似文献