微型机械研究的现状及展望

微型机械是80年代后期崛起的新兴热点技术。本文从微型机械的历史背景入手阐述了目前微型机械的定义、主要组成部分、主要的工艺方法、国外的研究状况及应用前景,最后介绍微型机械在我国的发展状况。     

超微型电动机实用化的关键技术及应用前景

电磁型超微型电动机是微机电系统中的关键部件。论述了直径１～３ｍｍ电磁型超微型电动机设计中的若干关键问题,如微型电动机的结构设计、磁路设计,以及微型电动机中的发热、温升和微摩擦问题等。简要地讨论了电磁型微型电动机的应用前景,例举了它在医学内窥镜、微泵、微激光扫描器中的应用。     

MEMS微型热敏传感器数值模拟

借助计算流体动力学软件Fluent,采用有限体积法、非定常N-S方程、Realizablek-ε湍流模型及无滑移壁面边界条件对微电子机械系统(MEMS)微型热敏传感器进行三维数值模拟.全面地分析了传感器绝缘层材料、空腔内介质材料以及结构尺寸参数对其灵敏度的影响情况,探讨了提高传感器灵敏度的方法.同时,设计了一款高灵敏度的MEMS微型热敏传感器.数值模拟结果发现,采用具有较低热导率的结构材料及工作气体,隔热效果最佳;合理优化传感器尺寸参数有助于获得较高的灵敏度.该结果对微型热敏传感器的优化设计和实际加工、制造提供了依据.     

微型装置与测试技术

本文提出并尝试用微电子技术制作的微型越置来更新现有的测试装置,这对推动教学、科研和生产的发展无疑是一种最有效的方法。     

国际上微型飞行器研究的进展及其关键技术

微型飞行器（MAV）是MEMS传感器和驱动器技术发展的必然产物,同时也是当今先进国家竞相研究的科技前沿课题。该文综述了世界各国对微型飞行器在固定翼、旋翼、扑翼以及微型动力系统方面的研究进展,指出了MAV研究的几项关键技术,并结合我国实际,提出了我国研究MAV的建议。     

微型剪应力传感器的热特性分析

研究不同结构、不同热敏元件温度和不同工作介质等情况下剪应力传感器的性能差异.通过实验和数值模拟相结合的方法对剪应力传感器进行了热特性分析.数值模拟结果发现:采用热敏元件下部埋置真空空腔的结构,隔热效果最佳;选择相对较高的热敏元件温度和较高热物性系数的工作气体有助于获得较高的灵敏度.该结果对优化设计微型剪应力传感器具有通用的指导意义.     

离子注入技术在微型水力机械中的应用

针对斜击式微型水力发电机存在着泥沙磨损和气蚀难题，提出了应用离子束注入技术改善其主要部件的材质，可有效地延长使用寿命，扩宽应用范围，具有实用价值。