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介绍了星用高精度压力传感器的技术要求、工作原理、结构设计与电路设计及试验结果;对研制过程中的关键技术及解决方法进行了探讨.传感器是依据硅微压阻效应原理,采用相关半导体平面工艺技术、微机械加工技术以及电子线路中信号调理与补偿技术,将压力敏感元件与调理电路一体化封装在壳体内.传感器具有非线性好、工作温度范围宽、抗冲击过载、性能稳定可靠等特点. 相似文献
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MEMS压力传感器的温度补偿 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了恒流激励条件下批量温度补偿的方法.零点的温度补偿是通过在桥臂上并联阻值较大且恒定的电阻来实现的,而灵敏度的温度补偿则是在整个桥臂上并联阻值较小且恒定的电阻来实现的,补偿后零点温漂为0.004%~0.015%FSO/℃,灵敏度温漂为0.0035%~0.024%FSO/℃,这表明这种补偿方法具有良好的效果. 相似文献
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硅压阻式低压传感器研制 总被引:3,自引:0,他引:3
以各向异性腐蚀技术制造的矩形硅膜片为弹性敏感元件,研制了硅压阻式低压传感器。通过对矩形硅膜上应力分布的分析和计算,确定了力敏电阻的最佳位置和尺寸。压敏电阻全桥采用集成电路技术制作在2.5mm×5.5mm、厚35μm的矩形硅膜片上。在0~20kPa压力范围内,测得577μV/kPa·V的灵敏度,理论和实验结果有较好的一致性。 相似文献
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厚膜压力传感器的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用厚膜工艺制造压力传感器。研究了厚膜是民阻浆料的是电阻率与压阻系数的关系,承压基片选用ZrO2-Y2O33mol%增韬Al2O3陶瓷,大大地提高了压力感器的性能,对承压片的应力分布进行了分析,介绍了压力传感器的结构设计方法。 相似文献
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由于压力传感器的物理特性,使它会产生零点热漂移,这种温度漂移在很大程度上会影响压力传感器的精度。因此,对零点热漂移的补偿就成为压力传感器的一个重要研究方向。本文从电路的角度分析了压力传感器产生零点热漂移的原因,为压力传感器进行温度补偿提供了理论基础,同时文章中也给出一些温度补偿的方法。 相似文献
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用双电桥法减小压力传感器输出的温度漂移 总被引:1,自引:0,他引:1
论述了温度对压力传感器输出灵敏度的影响,为了减小传感器输出的温度漂移,采用双惠斯登电桥方法,在300-373K的温度范围内对传感器进行测试,结果表明传感器输出的温度漂移可以降低70%以上。 相似文献
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为提高足底压力采集的精度, 减少测量中对实验者自然步态的影响, 基于自主研发的平板式传感器, 开发了面向多传感单元的足底压力扫描系统。通过对压力采集系统结构的改进设计以及对采样时序的优化处理, 有效地减少了传感器及电路系统引入的噪声干扰, 实现了对大尺寸(71.9 cm×33.5 cm)、高空间分辨率(2.8个/cm2, 共6720个传感单元)压力传感系统的设计实验, 实验中采样率为100 SPS。该系统已在广州市第一人民医院康复科进行测试与实验。该系统可应用于步态康复训练, 为医生评估患者康复情况和制订针对性的治疗方案提供有效的量化数据参考。 相似文献
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基于RBF神经网络模型和SVM模型的压力传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
压阻式压力传感器由于受环境温度影响会产生较大的温度漂移,测量精度明显降低,不利于其他依赖于压力数据的测控环节的工作。简要分析了当前常用的压力传感器温度补偿方法,然后采用RBF神经网络模型和支持向量机模型对压力传感器因温度变化所产生的非线性进行补偿。结果显示:传感器的温度漂移分别降低到0.6%F.S和0.5%F.S.,大大提高了压力传感器的性能和测量精度。最后,通过补偿结果的对比分析,讨论了两种算法的优劣性。 相似文献
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采用MEMS集成加热器设计一个温控系统。所用的加热器效率达到7.35 mm2K/mW, 且功耗低。加热器面积为6 mm×6 mm, 具有较高的系统集成度。该温控系统采用Fuzzy-PID温度控制算法, 温度稳态误差小于0.1°C, 并且约10秒即达到稳态, 响应速度快。使用该系统对MEMS压力计进行环境温控, 可明显抑制器件的温度漂移。 相似文献
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为了准确分析侵彻过载信号,提出了一种低功耗、高过载的动态测试系统,该系统可以承受2×105g过载信号,为了实现采样率高、低功耗、抗冲击的特点,系统采用硅晶振作为主振荡器,并选用低功耗CMOS芯片,当系统开始工作时,处理器进入深度休眠模式,当进入发射模式时开始对外围电路供电.当弹体发射信号时,采用滞回触发电路来触发启动采集系统开始采集.实验证明,采用此方案,延长了弹体生存周期,并能够精确采集到空气炮的过载信号. 相似文献
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提出了一种基于MEMS的捷联式惯性导航系统硬件和软件设计方法。设计了以ARM9处理器为核心的硬件平台,介绍了核心处理器及惯性器件的选型,给出了硬件系统组成;提出了基于嵌入式实时操作系统的软件设计方法,给出基于该操作系统的多任务设计方法及导航算法流程;该导航系统能够实现MEMS信息的实时提取、计算、位姿输出。 相似文献
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王春艳 《济南大学学报(自然科学版)》2012,26(2):175-178
针对如何提高轮胎压力检测系统(Tire Pressure Monitoring System,TPMS)无线传输效率以及减少 TPMS 的质量和体积以满足汽车轮胎平衡的问题,给出一种基于高度集成芯片 MPXY8300 的无线轮胎压力传感器设计方案。阐述了传感器的硬件电路设计和用 Smith 圆图进行无线发射电路网络匹配方法,给出 MPXY8300 软件设计及内部嵌入的固件使用方法。通过对传感器节点的实验测试,轮胎气体压力的最大测量误差为 ±7 kPa,温度测量误差为 ±2oС ,表明本设计具有良好的工作性能和准确度。 相似文献
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基于不同温度传感器的温度检测系统 总被引:1,自引:0,他引:1
温度控制在工业控制过程中应用相当广泛,在很多情况下温度都需要监控以防止发生意外,并且不同的工作环境所需温度的精度范围要求不一样.采用4种不同测温元件实时采集温度数据并通过单片机对4种不同测温元件所检测温度加以处理显示,以直观了解不同测温元件所检测的温度范围及其性能指标. 相似文献