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等离子体参数诊断及其特性研究
引用本文:符斯列,陈俊芳,吴先球,赵文峰,樊双莉,马涛.等离子体参数诊断及其特性研究[J].华南师范大学学报(自然科学版),2004,0(2):77-81.
作者姓名:符斯列  陈俊芳  吴先球  赵文峰  樊双莉  马涛
作者单位:华南师范大学物理与电信工程学院,广东,广州,510631
基金项目:广东省自然科学基金资助项目(000675),广东省重点攻关资助项目(ZKM01401G),广东省高教厅基金资助项目(0123)
摘    要:利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145A、p=O.1Pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游I区的等离子体受磁场梯度影响、按磁场位形扩散且等离子体分布不均匀;下游Ⅱ区的等离子体具有良好的径向分布均匀性.下游Ⅱ区z=30cm、直径为16cm区域内等离子体密度均匀性达到了96.3%.这种大面积均匀分布的等离子体在等离子体加工工艺中具有广泛的应用。

关 键 词:等离子体参数诊断  朗缪尔探针  电子温度  离子密度  ECR-PEMOVD  微波电子回旋共振
文章编号:1000-5463(2004)02-0077-05
修稿时间:2003年5月26日

STUDY ON DIAGNOSIS AND PROPERTIES OF PLASMA PARAMETERS
FU Si-lie,CHEN Jun-fang,WU Xian-qiu,ZHAO Wen-feng,FAN Shuang-li,MA Tao.STUDY ON DIAGNOSIS AND PROPERTIES OF PLASMA PARAMETERS[J].Journal of South China Normal University(Natural Science Edition),2004,0(2):77-81.
Authors:FU Si-lie  CHEN Jun-fang  WU Xian-qiu  ZHAO Wen-feng  FAN Shuang-li  MA Tao
Abstract:The properties of spatial distribution of ECR plasma ion density and electronic temperature in the ECR-MOPECVD reaction chamber are diagnosed at P_w=650 W,I_m=145 A,p=0.1 Pa by a Langmuir probe and the effect of magnetic field are investigated. Under the influence of magnetic gradient, the ECR plasma in the upper region diffuses in the shape of magnetic field with a poor uniformity. The ECR plasma in the downstream region has fine radial uniformity. In particular, the uniformity in the scope of diameter 16 cm at z=30 cm amounts to 96.3%. This excellent uniformity has an extensive application in the plasma processing.
Keywords:ECR-PEMOCVD  Langmuir probe  ion density  electronic temperature
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