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| 基于专利分析的NEMS传感器技术发展现状与趋势 | |
| 引用本文： | 马梅彦.基于专利分析的NEMS传感器技术发展现状与趋势[J].科技促进发展,2019,15(8). |
| 作者姓名： | 马梅彦 |
| 作者单位： | 北京市电子科技情报研究所 北京 100009 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | NEMS 纳机电系统 传感器 专利分析 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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